[发明专利]p-NiO为盖层的GaN单芯片白光发光管及其制备方法在审
申请号: | 202211245699.9 | 申请日: | 2022-10-12 |
公开(公告)号: | CN115458656A | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 杜国同;张源涛;邓高强 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | H01L33/26 | 分类号: | H01L33/26;H01L33/00;H01L33/06 |
代理公司: | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人: | 刘世纯;王恩远 |
地址: | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | nio 盖层 gan 芯片 白光 发光 及其 制备 方法 | ||
1.一种p-NiO为盖层的GaN单芯片白光发光管,由下至上依次由衬底(1)、衬底(1)上面制备的GaN缓冲层(8)、GaN缓冲层(8)上制备的n型掺Si的GaN电子注入层(2)、GaN电子注入层(2)上面制备的相互分立的多量子阱有源发光层(3)和下电极(7)、有源发光层(3)上面制备的p型掺Mg的AlzGa1-zN电子限制层(4)、AlzGa1-zN电子限制层(4)上制备的盖层(5)、盖层(5)上面制备的上电极(6)构成,其特征在于:衬底(1)是Al2O3或Si晶体片;盖层(5)是p-NiO,空穴浓度为1.0×1018/cm3~9.9×1020/cm3;多量子阱有源发光层(3)由下至上依次由蓝光Aly1Ga1-y1N载流子限制层(3-2)、蓝光多量子阱Inx1Ga1-x1N材料有源发光层(3-1)、黄光Aly2Ga1-y2N载流子限制层(3-4)、黄光多量子阱Inx2Ga1-x2N材料有源发光层(3-3)四部分组成。
2.一种p-NiO为盖层的GaN单芯片白光发光管,由下至上依次由衬底(1)、衬底(1)上面制备的GaN缓冲层(8)、GaN缓冲层(8)上制备的n型掺Si的GaN电子注入层(2)、GaN电子注入层(2)上面制备的相互分立的多量子阱有源发光层(3)和下电极(7)、有源发光层(3)上面制备的盖层(5)、盖层(5)上面制备的上电极(6)构成,其特征在于:衬底(1)是Al2O3或Si晶体片;盖层(5)兼作电子限制层,是p-NiO,空穴浓度为1.0×1018/cm3~9.9×1020/cm3;多量子阱有源发光层(3)由下至上依次由蓝光Aly1Ga1-y1N载流子限制层(3-2)、蓝光多量子阱Inx1Ga1-x1N材料有源发光层(3-1)、黄光Aly2Ga1-y2N载流子限制层(3-4)、黄光多量子阱Inx2Ga1-x2N材料有源发光层(3-3)四部分组成。
3.如权利要求1或2所述的一种p-NiO为盖层的GaN单芯片白光发光管,其特征在于:蓝光多量子阱Inx1Ga1-x1N材料有源发光层(3-1)由阱层Inx11Ga1-x11N和垒层Inx12Ga1-x12N交替构成,对数为2~5;黄光多量子阱Inx2Ga1-x2N材料有源发光层(3-3)由阱层Inx21Ga1-x21N和垒层Inx22Ga1-x22N交替构成,对数为2~5。
4.如权利要求3所述的一种p-NiO为盖层的GaN单芯片白光发光管,其特征在于:蓝光量子阱的阱层x11的选值范围为0.15~0.22,蓝光量子阱的垒层x12的选值比x11小0.1~0.22;黄光量子阱的阱层x21的选值范围为0.30~0.36,黄光量子阱的垒层x22的选值比x21小0.1~0.30;y1、y2的选值范围为0~0.2,z的选值范围为0.1~0.4。
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