[发明专利]实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法在审

专利信息
申请号: 202211250906.X 申请日: 2022-10-12
公开(公告)号: CN115616368A 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 张会杰;孟宪伟 申请(专利权)人: 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 张亚静
地址: 312000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 实现 dsc 产品 上下 高温 同时 测试 方法
【权利要求书】:

1.一种实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法,其特征在于,包括以下步骤:

对HTRB设备进行改造,使改造后的HTRB设备的加压方式为双电源同时提供正、负电压;

推导出DSC产品电压与结温的函数关系;

在所述HTRB设备中获得多个所述DSC产品的上下桥的结温与漏电流的对数公式;

将所述对数公式导入所述HTRB设备中,并采用所述HTRB设备对多个所述DSC产品进行测试,确认所述HTRB设备内的所述对数公式计算出的结温与数据采集器采集到的结温的差值是否在误差范围内;若是则确定导入的所述对数公式正确,并采用所述HTRB设备对所述DSC产品的上下桥同时进行测试;若否则重新获得所述对数公式并进行后续操作。

2.根据权利要求1所述的实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法,其特征在于,所述DSC产品电压与结温的函数关系为一次函数。

3.根据权利要求1所述的实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法,其特征在于,推导出DSC产品电压与结温的函数关系的方法包括:

通过K系数测试仪向所述DSC产品提供电流,收集不同温度下的电压V;

通过数据采集仪监控所述DSC产品的表面温度Tc,得到所述DSC产品的结温。

4.根据权利要求3所述的实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法,其特征在于,通过所述K系数测试仪向所述DSC产品内的温度二极管提供电流。

5.根据权利要求4所述的实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法,其特征在于,所述DSC产品稳定1.5小时后的表面温度等于结温。

6.根据权利要求1所述的实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法,其特征在于,在所述HTRB设备中获得多个所述DSC产品的上下桥的结温与漏电流的对数公式的方法包括:采集多个所述DSC产品在不同温度条件下的漏电流,汇总出结温与漏电流的曲线图并分别拟合得到上下桥的结温与漏电流的对数公式。

7.根据权利要求1所述的实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法,其特征在于,采用所述HTRB设备对多个所述DSC产品进行测试的方法包括:将多个所述DSC产品放置在所述HTRB设备的多块老化板上,将所述HTRB设备的烘箱温度设置在145℃下监控所述结温。

8.根据权利要求7所述的实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法,其特征在于,将12个所述DSC产品放置在所述HTRB设备的3块老化板上。

9.根据权利要求1所述的实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法,其特征在于,所述方法还包括:在不同环温条件下测定结温,根据所述结温确定环温的最佳设定值。

10.根据权利要求9所述的实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法,其特征在于,结温在150℃±8℃时所对应的所述环温为最佳设定值。

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