[发明专利]一种激光干涉光斑匀化器件

权利要求书

1.一种激光干涉光斑匀化器件，其特征在于：包括固定板(2)、平动板(9)、扩散片(8)、位于固定板(2)与平动板(9)之间且两端分别连接固定板(2)与平动板(9)的m组弹性组件(7)以及固定在固定板(2)与平动板(9)之间的n套电磁驱动组件；其中，m、n均为大于等于2的整数；

固定板(2)上设有透光区域；平动板(9)上设有第二通光孔；扩散片(8)固定在平动板(9)的第二通光孔中；透光区域和第二通光孔的位置需确保光束通过透光区域能够入射至扩散片(8)；

各组弹性组件(7)由数量相同或不同的弹性元件构成；

n套电磁驱动组件沿两个不同方向布置，用于驱动平动板(9)相对固定板(2)在平动板(9)所在平面内沿两个相互垂直的方向做谐振运动，且两个方向运动的相位差为90°或者270°，带动扩散片(8)进行面内二维扫圆或扫椭圆运动。

2.根据权利要求1所述的激光干涉光斑匀化器件，其特征在于：还包括反馈组件；

反馈组件一端固定在固定板(2)，另一端延伸至平动板(9)边沿设定距离处，在平动板(9)带动扩散片(8)进行面内二维扫圆或扫椭圆运动过程中，反馈组件与平动板(9)边沿接触，反馈两个方向运动的幅值和相位；

或，反馈组件一端固定在平动板(9)，另一端延伸至固定板(2)边沿设定距离处，在平动板(9)带动扩散片(8)进行面内二维扫圆或扫椭圆运动过程中，反馈组件与固定板(2)边沿接触，反馈两个方向运动的幅值和相位。

3.根据权利要求2所述的激光干涉光斑匀化器件，其特征在于：平动板(9)功能区域之外镂空；

平动板(9)的镂空区域包括开设在平动板(9)上的矩形缺口；矩形缺口侧壁为金属材质；将沿Y向延伸的侧壁定义为X向反馈金属板边(9.1)，将沿X向延伸的侧壁定义为Y向反馈金属板边(9.2)；其中X向和Y向代表两个相互垂直的方向；

反馈组件与X向反馈金属板边(9.1)接触，反馈X向运动的幅值和相位，反馈组件与Y向反馈金属板边(9.2)接触，反馈Y向运动的幅值和相位；

或固定板(2)功能区域之外镂空；

固定板(2)的镂空区域包括开设在固定板(2)上的矩形缺口；矩形缺口侧壁为金属材质；将沿Y向延伸的侧壁定义为X向反馈金属板边(9.1)，将沿X向延伸的侧壁定义为Y向反馈金属板边(9.2)；其中X向和Y向代表两个相互垂直的方向；

反馈组件与X向反馈金属板边(9.1)接触，反馈X向运动的幅值和相位，反馈组件与Y向反馈金属板边(9.2)接触，反馈Y向运动的幅值和相位。

4.根据权利要求3所述的激光干涉光斑匀化器件，其特征在于：反馈组件包括X向反馈元件(4.1)和Y向反馈元件(4.2)，X向反馈元件(4.1)和Y向反馈元件(4.2)另一端延伸至平动板(9)的矩形缺口内，且相互错位，X向反馈元件(4.1)距X向反馈金属板边(9.1)的距离等于X向目标幅值，Y向反馈元件(4.2)距Y向反馈金属板边(9.2)的距离等于Y向目标幅值；X向反馈元件(4.1)距Y向反馈金属板边(9.2)的距离大于Y向目标幅值，Y向反馈元件(4.2)距X向反馈金属板边(9.1)的距离大于X向目标幅值。

5.根据权利要求4所述的激光干涉光斑匀化器件，其特征在于：还包括端子座(1)；端子座(1)通过相应的焊盘焊接于固定板(2)上，用于引出干涉光斑匀化器件的所有电信号；每套电磁驱动组件均包括驱动线圈(5)以及布置在驱动线圈(5)驱动端的磁铁；所述驱动线圈(5)设置在固定板(2)上且磁铁设置在平动板(9)上；或者，驱动线圈(5)设置在平动板(9)上且磁铁设置在固定板(2)上。

6.根据权利要求5所述的激光干涉光斑匀化器件，其特征在于：每套电磁驱动组件包括至少两块磁铁，分别布置在驱动线圈(5)的两个驱动端，且两块磁铁极性相对、中心位于驱动线圈(5)的轴向中心线上。

7.根据权利要求6所述的激光干涉光斑匀化器件，其特征在于：m组弹性组件(7)中至少有一组弹性组件(7)中弹性元件的数量大于等于2，弹性元件采用导电材料制成，为反馈信号和驱动线圈(5)提供传输到固定板(2)上的电信号通路。