[发明专利]一种托盘控温加热器装置及其控制方法

权利要求书

1.一种托盘控温加热器装置，其特征在于，包括：

托盘，用于承载衬底；

加热装置，设置于托盘下方，用于对所述托盘进行加热，包括第一加热装置、第二加热装置和第三加热装置；

旋转装置，用于旋转所述托盘；

检测装置，用于测量所述衬底中至少一个检测点位的温度；

控制装置，用于基于所述检测装置的检测结果，控制所述第一加热装置、所述第二加热装置和所述第三加热装置的加热温度，以及控制所述旋转装置的旋转速度。

2.根据权利要求1所述的托盘控温加热器装置，其特征在于，所述衬底被划分为多个温区，所述多个温区至少包括衬底中心区域、衬底周边区域及衬底边缘区域；

所述第一加热装置，环绕所述旋转装置设置，并与所述旋转装置间隔，用于对所述衬底中心区域进行加热，其中，所述衬底中心区域位于所述旋转装置的正上方；

所述第二加热装置，位于所述托盘的下方且位于所述第一加热装置的上方，用于对所述衬底周边区域进行加热；

所述第三加热装置，位于所述托盘的外围，用于对所述衬底边缘区域进行加热。

3.根据权利要求1所述的托盘控温加热器装置，其特征在于，所述衬底的多个温区中各设置至少一个检测点位；

为基于所述检测装置的检测结果，控制所述第一加热装置、所述第二加热装置和所述第三加热装置的加热温度，所述控制装置进一步用于：

通过预测模型确定所述托盘的预测平均温度和预测温度均匀度，所述预测模型为机器学习模型；

基于所述托盘的预测平均温度和预测温度均匀度，确定温度控制方案；以及

基于所述温度控制方案，控制所述第一加热装置、所述第二加热装置和所述第三加热装置的加热温度的加热温度。

4.根据权利要求1所述的托盘控温加热器装置，其特征在于，所述旋转装置还包括：

固定装置，用于固定所述托盘；

第二旋转装置，用于使所述固定装置带动所述托盘转动。

5.一种托盘控温加热器装置的控制方法，其特征在于，所述托盘控温加热器装置包括托盘、第一加热装置、第二加热装置、第三加热装置、旋转装置、检测装置和控制装置，所述方法包括：

获取所述检测装置测量所述托盘承载的衬底中至少一个检测点位的温度的检测结果；

基于所述检测结果控制所述第一加热装置、所述第二加热装置和所述第三加热装置的加热温度和，以及控制所述旋转装置的旋转速度。

6.根据权利要求5所述的托盘控温加热器装置的控制方法，其特征在于，所述衬底被划分为多个温区，所述多个温区至少包括衬底中心区域、衬底周边区域及衬底边缘区域；

所述基于所述检测结果控制所述旋转装置的旋转速度，包括：

从所述衬底中心区域中获取多个第一点位或从所述衬底周边区域获取多个第一点位；

获取所述检测装置测量所述多个第一点位的温度的检测结果，并计算所述多个第一点位的温度标准差；

响应于所述温度标准差大于第一阈值，则控制所述旋转装置的旋转速度进行调整。

7.根据权利要求5所述的托盘控温加热器装置的控制方法，其特征在于，所述基于所述检测结果控制所述第一加热装置、所述第二加热装置和所述第三加热装置的加热温度，包括：

从所述衬底的衬底中心区域中获取多个第二点位并从所述衬底的衬底周边区域获取多个第三点位；

获取所述检测装置测量所述多个第二点位的温度和所述多个第三点位的温度的检测结果；

基于所述多个第二点位的温度构建第一温度向量，和基于所述多个第三点位的温度构建第二温度向量；

确定第一温度向量与第二温度向量之间的温度差异；

响应于所述温度差异大于第二阈值，则控制所述第一加热装置的温度和所述第二加热装置的温度进行调整。