[发明专利]圆角矩形面形数据的处理方法

说明书

本发明涉及光学检测领域，基于编程和矩阵布尔运算具体提供一种便于快速调整mask区域大小的圆角矩形面形数据的处理方法，具体步骤如下：S1、获取原始数据的有效数据矩阵；S2、基于圆角矩形面形数据进行分区域mask矩阵建模；S3、进行各矩阵间的布尔运算；S4、将有效数据矩阵与总mask矩阵取交集，获得mask建模后的圆角矩形面形数据。现有技术中手绘的mask区域存在不确定性高、误差大以及多次绘制时的一致性低等缺点，而本发明是基于编程和矩阵布尔运算提出的，便于快速调整mask区域大小，并且避免了手动绘制mask区域的误差，提高了绘制精度和多次绘制时的一致性。

技术领域

本发明涉及光学检测领域，具体提供一种便于快速调整mask区域大小的圆角矩形面形数据的处理方法。

背景技术

现有技术中，对于高精密光学面形检测通常使用干涉测量的方法，为保证面形数据加载到光学系统中的准确性，需要对原始的面形数据进行mask，去除周围衍射。测量过程的大部分工作镜为圆形口径，并且圆形口径的工作镜在对数据进行mask时直接画圆，再将mask圆的半径减小，再和原始面形数据取交集。

对于矩形口径的工作镜而言，出于安全考虑将矩形口径的工作镜的四个角一般加工成圆角，对面形数据进行mask不仅仅是画矩形。例如用Metropro软件中的“Mask Data”编辑器中的“curve”和“polygon”等进行masks处理时，需要手动绘制mask区域，但存在不确定性，误差较大，多次绘制很难保证一致性且比较浪费时间。

发明内容

本发明为解决上述问题，基于编程和矩阵布尔运算提供了一种便于快速调整mask区域大小的圆角矩形面形数据的处理方法，规避了手动绘制mask区域的不确定性，且误差较小。

本发明提供的圆角矩形面形数据的处理方法，包括以下步骤：

S1、获取原始数据的有效数据矩阵；

S2、基于圆角矩形面形数据进行分区域mask矩阵建模；

对圆角矩形面形的4个圆角进行圆形mask矩阵建模；

对圆角矩形面形的横向进行矩形mask矩阵建模；

对圆角矩形面形的纵向进行矩形mask矩阵建模；

S3、对4个圆形mask矩阵和2个矩形mask矩阵取并集，获得总mask矩阵；

S4、将有效数据矩阵与总mask矩阵取交集，获得mask建模后的圆角矩形面形数据。

优选的，圆形mask矩阵的半径和圆心根据有效数据矩阵确定。

优选的，圆形mask矩阵和矩形mask矩阵规定区域内的数据赋值为1；圆形mask矩阵和矩形mask矩阵外的数据赋值为0。

优选的，圆形mask矩阵和矩形mask矩阵的大小与有效数据矩阵的大小相等。

优选的，S2在mask处理过程中，还包括依据有效数据矩阵设定待去掉的点数，即cut；圆形mask矩阵和矩形mask矩阵的大小可以根据cut调整，cut为整数，且大于或等于零小于未mask建模的圆角的对应圆的半径。

优选的，总mask矩阵规定区域内的数据赋值为1；总mask矩阵规定区域外的数据赋值为0。

与现有技术相比，本发明能够取得如下有益效果：

本发明基于编程和矩阵布尔运算可快速调整mask区域大小，同时避免了现有技术中手动绘制mask区域的不确定性，减小了mask区域的不确定误差。

本发明代替了手动绘制mask区域，且划定mask区域速度快、误差小，可避免每次调整mask区域都需要重新手绘的不便。

附图说明