[发明专利]一种叉指换能器及制备方法在审
| 申请号： | 202211258652.6 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN115529020A | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 潘威;林逸彬;杨天浩 | 申请（专利权）人： | 潘威 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/08;G01L11/04 |
| 代理公司： | 福州智理专利代理有限公司 35208 | 代理人： | 康永辉 |
| 地址： | 350000 福建省福州市仓山*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 叉指换能器 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种叉指换能器及制备方法, 其特征在于:在压电基片为127.8°YX型铌酸锂（LiNbO3）的表面，采用旋涂厚度为16～18μm的光刻胶并前烘；采用掩膜进行UV曝光，曝光时间165s～175s；显影275s～285s去胶并后烘5min；利用磁控溅射工艺制备纯度为99.999%纯铝且厚度1μm±0.03μm的纯铝层；去胶液剥离并烘干，制成叉指换能器。
2.一种叉指换能器及制备方法,其特征在于:在压电基片为127.8°YX型铌酸锂（LiNbO3）表面，采用旋涂厚度为17μm的光刻胶并前烘；采用掩膜进行UV曝光，曝光时间170s；显影280s去胶并后烘5min；利用磁控溅射工艺制备纯度为99.999%纯铝且厚度1μm±0.03μm的纯铝层；去胶液剥离并烘干，制成叉指换能器。
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