[发明专利]光检测装置

权利要求书

1.一种滤波器装置，其特征在于，

具备：

封装体，其设置有使光入射的窗部；

带通滤波器，其配置于所述封装体的内面，且使从所述窗部入射的所述光透过；及

法布里-珀罗干涉滤波器，其配置于所述封装体内，且使透过了所述带通滤波器的所述光透过，

在自所述光的入射方向观察的情况下，所述带通滤波器的外缘位于较所述法布里-珀罗干涉滤波器的外缘更靠近外侧的位置，

所述法布里-珀罗干涉滤波器具有：

基板，其具有所述窗部侧的第1表面及与所述窗部相反侧的第2表面；

第1层构造体，其配置于所述第1表面，设置有隔着空隙而彼此相对且彼此的距离设为可变的第1镜部及第2镜部；及

透镜部，其一体地设置于所述第2表面侧，且将透过了所述第1镜部及所述第2镜部的所述光聚光，

所述第1层构造体具有：

第1层叠体，其配置于所述第1表面，且包含所述第1镜部；

中间层，其配置于所述第1层叠体上，且形成所述空隙；及

第2层叠体，其配置于所述中间层上，且包含所述第2镜部，

在自所述光的入射方向观察的情况下，所述透镜部位于所述空隙的内侧。

2.一种滤波器装置，其特征在于，

具备：

封装体，其设置有使光入射的窗部；

带通滤波器，其配置于所述封装体的内面，且使从所述窗部入射的所述光透过；及

法布里-珀罗干涉滤波器，其配置于所述封装体内，且使透过了所述带通滤波器的所述光透过，

在自所述光的入射方向观察的情况下，所述带通滤波器的外缘位于较所述法布里-珀罗干涉滤波器的外缘更靠近外侧的位置，

所述法布里-珀罗干涉滤波器具有：

基板，其具有所述窗部侧的第1表面及与所述窗部相反侧的第2表面；

第1层构造体，其配置于所述第1表面，设置有隔着空隙而彼此相对且彼此的距离设为可变的第1镜部及第2镜部；

透镜部，其一体地设置于所述第2表面侧，且将透过了所述第1镜部及所述第2镜部的所述光聚光；及

第1端子及第2端子，其设置于所述第1层构造体，

所述第1层构造体具有：

第1层叠体，其配置于所述第1表面，且包含所述第1镜部；

中间层，其配置于所述第1层叠体上，且形成所述空隙；及

第2层叠体，其配置于所述中间层上，且包含所述第2镜部，

在自所述光的入射方向观察的情况下，所述第1端子及所述第2端子位于所述透镜部的外侧。

3.如权利要求1或2所述的滤波器装置，其特征在于，

所述透镜部形成于所述基板中的所述第2表面侧的部分。

4.如权利要求1或2所述的滤波器装置，其特征在于，

所述透镜部直接或间接地设置于所述第2表面。

5.如权利要求4所述的滤波器装置，其特征在于，

所述法布里-珀罗干涉滤波器还具有：第2层构造体，其配置于所述第2表面，且构成为与所述第1层构造体对应，

在所述第2层构造体，形成有供透过了所述第1镜部及所述第2镜部的所述光通过的开口，

所述透镜部配置于所述开口内。

6.如权利要求1或2所述的滤波器装置，其特征在于，

所述法布里-珀罗干涉滤波器还具有：第2层构造体，其配置于所述第2表面，且构成为与所述第1层构造体对应，

在所述第2层构造体，形成有供透过了所述第1镜部及所述第2镜部的所述光通过的开口，

所述透镜部以封闭所述开口的方式安装于所述第2层构造体。

7.如权利要求1～6中任一项所述的滤波器装置，其特征在于，

在自所述光的入射方向观察的情况下，所述透镜部的外缘位于较所述窗部的外缘更靠近内侧的位置。