[发明专利]一种驱动桥臂型微桥结构

权利要求书

1.一种驱动桥臂型微桥结构，其特征在于，包括衬底、桥墩、驱动桥臂、微桥桥面；所述桥面上设置有热敏吸收层，热辐射信号被所述桥面上的热敏吸收层吸收，传递到所述微桥结构；所述驱动桥臂上设置有电极层，所述衬底包括读出电路，衬底上设置有金属反射层，所述桥墩与所述衬底通过所述金属反射层电连接，所述桥面、驱动桥臂、桥墩及衬底电连接。

2.如权利要求1所述的一种驱动桥臂型微桥结构，其特征在于，所述桥墩由介质层包覆金属通孔构成，通过金属通孔将所述桥面和所述衬底电连接。

3.如权利要求2所述的一种驱动桥臂型微桥结构，其特征在于，所述介质层和所述金属通孔直接接触，所述金属通孔的材料为铝、铜或钨，所述介质层的材料为氧化硅或氮化硅。

4.如权利要求1所述的一种驱动桥臂型微桥结构，其特征在于，所述桥墩有两个，分别位于所述桥面的两侧。

5.如权利要求4所述的一种驱动桥臂型微桥结构，其特征在于，所述驱动桥臂有两个，分别位于所述桥面的两侧。

6.如权利要求5所述的一种驱动桥臂型微桥结构，其特征在于，所述驱动桥臂包括双层薄膜结构，所述双层薄膜结构由两层热膨胀系数不同的材料组成，热膨胀系数较大的一层为导电层，热膨胀系数较小的一层为钝化层。

7.如权利要求6所述的一种驱动桥臂型微桥结构，其特征在于，所述桥臂包括两段，每一段均包括一个双层结构，第一段桥臂的导电层位于钝化层上方，第二段桥臂的导电层位于钝化层下方。

8.如权利要求7所述的一种驱动桥臂型微桥结构，其特征在于，所述电极层位于所述第一段桥臂和所述第二段桥臂之间，所述电极层嵌入整个桥臂结构中。

9.如权利要求8所述的一种驱动桥臂型微桥结构，其特征在于，所述热敏吸收层的材料为氧化钒或非晶硅，所述电极层的材料为钛、氮化钛、镍、铂、钨、铝或镍铬合金，所述导电层的材料为Al、Ti或TiN，所述钝化层的材料为氮化硅、硅、碳化硅、氧化铝或碳氧化硅。

10.如权利要求1~9之一所述的一种驱动桥臂型微桥结构，其特征在于，所述衬底上集成温控环。

11.一种非制冷焦平面红外探测器，其特征在于，包括多个如权利要求1~10之一所述的驱动桥臂型微桥结构阵列。