[发明专利]一种避免异常放电的钛靶材及其加工方法

权利要求书

1.一种避免异常放电的钛靶材，其特征在于，所述钛靶材包括依次连接的溅射面、侧面以及喷砂凹槽；

所述喷砂凹槽包括第一凹槽和第二凹槽；

所述第一凹槽的深度为4.5-5.5mm。

2.根据权利要求1所述的钛靶材，其特征在于，所述侧面通过第一倒角与溅射面相连；

优选地，所述第一倒角的半径为1.5-2.5mm。

3.根据权利要求1或2所述的钛靶材，其特征在于，所述侧面为斜面；

优选地，所述侧面与溅射面的夹角为115-135°。

4.根据权利要求1-3任一项所述的钛靶材，其特征在于，所述第一凹槽与侧面的夹角为105-115°。

5.根据权利要求1-4任一项所述的钛靶材，其特征在于，所述第一凹槽的宽度为9.0-10.0mm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的钛靶材喷砂凹槽，其特征在于，所述第一凹槽和第二凹槽之间的距离为6.0-15.0mm。

7.根据权利要求1-6任一项所述的钛靶材喷砂凹槽，其特征在于，所述第二凹槽的宽度为6.0-11.0mm；

优选地，所述第二凹槽的深度为3.0-5.0mm。

8.根据权利要求1-7任一项所述的钛靶材的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括：通过机加工出钛靶材的溅射面、侧面以及喷砂凹槽，然后对喷砂凹槽进行喷砂处理，得到避免异常放电的钛靶材。

9.根据权利要求8所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理后喷砂凹槽的粗糙度Ra为5-7μm。

10.根据权利要求8或9所述的加工方法，其特征在于，所述喷砂处理具体方法包括：所述喷砂处理的原料为白刚玉，空气压强为0.4-0.5MPa，喷砂枪至靶材表面的距离范围为85-95mm。