[发明专利]一种氦检模块化真空箱设备

权利要求书

1.一种氦检模块化真空箱设备，包括机柜(1)和真空箱(3)，所述机柜(1)顶部设置有顶架(2)，所述真空箱(3)位于机柜(1)的台面上，并且真空箱(3)包括下箱体(31)和上箱罩(32)，所述上箱罩(32)通过铰链(33)与下箱体(31)活动连接；其特征在于：还包括翻转驱动气缸(4)和升降侧滑机构(5)；所述真空箱(3)与机柜(1)的台面可拆卸式连接；所述翻转驱动气缸(4)与机柜(1)的台面活动连接，并且翻转驱动气缸(4)的活塞杆与上箱罩(32)侧面的顶轴(34)铰接；所述升降侧滑机构(5)位于机柜(1)内部并且与真空箱(3)的上下位置相对应；所述升降侧滑机构(5)包括升降座(52)、升降气缸(53)、驱动槽轮(56)以及支撑轮(58)；所述升降气缸(53)竖向设置并且通过连接架(51)与机柜(1)的台面底端连接，该连接架(51)呈凵形，所述升降座(52)通过导杆与连接架(51)活动连接，所述升降气缸(53)的活塞杆与升降座(52)连接；所述驱动槽轮(56)通过转轴(55)与升降座(52)活动连接；所述下箱体(31)的底端设置有加强板(36)，所述加强板(36)位于驱动槽轮(56)的凹槽内；所述加强板(36)呈条形；所述驱动槽轮(56)与加强板(36)一一对应；所述支撑轮(58)通过销轴与轮座(59)连接，所述轮座(59)位于升降座(52)上；所述支撑轮(58)的数量为多个并且沿加强板(36)的长度方向布设，并且支撑轮(58)所处的水平高度高于驱动槽轮(56)。

2.根据权利要求1所述的一种氦检模块化真空箱设备，其特征在于：所述升降座(52)的一端设置有伺服电机(57)，所述转轴(55)与伺服电机(57)的主轴同轴连接；所述转轴(55)水平设置。

3.根据权利要求2所述的一种氦检模块化真空箱设备，其特征在于：所述机柜(1)的台面上设置有光电开关，并且光电开关的数量为多个；所述光电开关通过固定架与台面连接并且检测端水平朝向下箱体(31)。

4.根据权利要求3所述的一种氦检模块化真空箱设备，其特征在于：所述真空箱(3)的下箱体(31)底部外沿设置有凸边，并且凸边上设置有通孔(35)，所述通孔(35)与机柜(1)的台面上的螺孔位置相对应。