[发明专利]一种微型化激光陀螺反射镜连接方法

权利要求书

1.一种微型化激光陀螺反射镜连接方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

步骤1，将反射镜镜片的光胶连接区域和激光陀螺谐振腔的气密面做抛光处理，所述抛光处理是对所述反射镜镜片的光胶连接区域和激光陀螺谐振腔的气密面做高精度抛光；所述高精度抛光达到如下要求：面粗糙度≤0.025um，面形误差≤0.06um；

步骤2，对完成抛光处理的反射镜镜片和激光陀螺谐振腔的气密面执行化学清洗，反射镜镜片和激光陀螺谐振腔完成化学清洗后做干燥处理；

步骤3，将完成步骤2的所述反射镜镜片放入专用工装内，然后置于真空等离子设备内进行等离子清洗；

将等离子清洗后的所述反射镜镜片保存于干燥环境下；

使用真空等离子设备将完成步骤2的激光陀螺谐振腔进行等离子清洗；

步骤4，取出干燥保存的所述反射镜镜片，使用光胶连接方式固定连接在经等离子清洗后的所述激光陀螺谐振腔的气密面上，光胶连接时维持压力：5～10牛，压力连接时间为：10～30秒；

步骤5，将完成步骤4的所述激光陀螺谐振腔的外表面用乙醇清洁，然后将所述激光陀螺谐振腔放入真空烘箱内，在预定温度下烘烤预定时间长度；烘烤之后按照预定的降温速率执行退火处理。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述反射镜镜片为方形，反射镜镜面的中央为反射镜的圆形光学膜区，所述圆形光学膜区的直径尺寸与所述激光陀螺谐振腔的光腔的直径匹配；所述圆形光学膜区外围是环形隔离区；隔离区之外是所述光胶连接区域。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述反射镜镜片为平面反射镜。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述专用工装的材质为玻璃或不锈钢。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，干燥后的所述反射镜镜片储存时间在5小时以内，储存时间超过5小时的所述反射镜镜片须重新执行步骤3中的等离子清洗。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述真空等离子设备的工艺气体为氩气和氧气的混合气体，其中，氩气与氧气比例为：10:1到1:1。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述氩气和氧气的混合气体比例为5:1。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述真空烘箱烘烤的预定温度为：120～450℃，所述烘烤的预定时间长度为：5～72小时；

所述真空烘箱的预定的降温速率为：0.1～1℃/分钟。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述真空烘箱的烘烤温度为300℃；烘烤时间48小时；所述真空烘箱的降温速率为0.1℃/分钟。