[发明专利]一种旋转靶材解绑设备

说明书

本发明提供了一种旋转靶材解绑设备，属于靶材技术领域，包括底板和第一竖板，底板和第一竖板连接在一起，底板和第一竖板相互垂直并形成L形；底板顶面上设置有滑轨，滑轨上设有与其滑动配合的滑台支架，滑台支架上设置用于固定靶材一端的第一夹紧转轴，第一夹紧转轴远离靶材的一端设置用于控制第一夹紧转轴旋转的第一电机；第一竖板顶面的中心处设置用于固定靶材的另一端的第二夹紧转轴，靶材置于第一夹紧转轴与第二夹紧转轴之间，旋转靶材的下端设置有加热器，加热器与底板之间设置有用于控制加热器升降的支撑缸。

技术领域

本发明涉及靶材制备领域，具体涉及一种旋转靶材解绑装置。

背景技术

旋转靶材常常是将靶材绑定钛管上，且是通过焊料层（铟层）来将靶材结合至钛管上，从而形成能后续溅射生产的靶材。

溅射技术是指用具有一定能量的粒子轰击固体表面而使该固体表面的原子或者分子离开固体表面溅射出去的技术，该固体通常被称为靶材，飞溅而出的原子或分子落于另一固体表面形成镀膜，被镀膜的固体通常称之为基片；一般情况下，靶材都是绑定在背板上面使用，随着科学技术的发展，溅射组件的尺寸越来越大，而单片大尺寸靶材制备相当困难，成本昂贵，因此现在主流的替代方法是采用多片靶材拼接的方式来制备大尺寸靶材，即在一块大的背板上，绑定拼接多片靶材，形成大尺寸溅射组件，常用的绑定焊料为铟。

然而，在多片靶材片拼接形成大尺寸靶材后，在大尺寸靶材的清理、转运和包装过程中，难免有部分靶材片因磕碰产生裂纹、崩边等，或者绑定后发现所需间隙等不合格，这就需要把不合格的靶材片退绑出来，更换合格的靶材片重新绑定。

目前，现有靶材解绑装置是将靶材及钛管放置于加热平台上，加热至所需温度，待铟层熔化后将靶材取下，该方法会使靶材各面温度不一致，极易导致靶材开裂，影响后续的靶材再利用，且不能充分的对焊料层（铟层）进行回收，导致贵金属的浪费。

发明申请CN109161862A，一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法，使用油浴槽解绑定，油浴加热温度更均匀，解绑后靶材完好，不易碎裂，但是油浴容易造成二次污染。

发明内容

为解决了现有技术的靶材退绑装置在退绑过程出现靶材破碎影响后续的靶材再利用，以及不能充分的对焊料层（铟层）进行回收导致贵金属浪费的技术问题，本发明提供一种靶材圆筒退绑装置，通过电机传动原理可稳定退绑不同长度的靶材，且可回收焊料层避免焊料层的浪费。为实现前述目的，本发明采用如下技术方案。

本发明提供了一种旋转靶材解绑装置，包括底板和第一竖板，底板和第一竖板连接在一起，底板和第一竖板相互垂直并形成L形；底板顶面上设置有滑轨，滑轨上设有与其滑动配合的滑台支架，滑台支架上设置有用于固定靶材钛管一端的第一夹紧转轴，第一夹紧转轴远离靶材钛管的一端设置有用于控制第一夹紧转轴旋转的第一电机；第一竖板顶面的中心处设置有用于固定靶材的另一端的第二夹紧转轴，靶材置于第一夹紧转轴与第二夹紧转轴之间，旋转靶材的下端设置有加热器，加热器与底板之间设置有用于控制加热器升降的支撑缸。

作为本发明的进一步改进，所述滑轨包括第一滑轨和第二滑轨，所述第一滑轨离底板长轴中心线的距离与第二滑轨离底板长轴中心线的距离相同。

作为本发明的进一步改进，所述退绑装置还包括第二竖板，所述第二竖板设置在底板远离第一竖板的一端，所述第二竖板与底板连接在一起，并和底板相互垂直并形成L形。

作为本发明的进一步改进，所述滑台支架底面为具有螺纹结构的底面，所述滑台支架底部还设置有与滑台支架底面螺纹相互配合的传动螺杆，所述传动螺杆贯穿且固定设置在第二竖板的中心处，其中，所述传动螺杆的中心线与底板长轴中心线在同一直线上。

作为本发明的进一步改进，所述传动螺杆伸出第二竖板的一端设置有带动传动螺杆转动的第二电机。