[发明专利]一种镍-63放射源制备装置及制源工艺、应用

权利要求书

1.一种镍-63放射源制备装置，其特征在于，包括屏蔽箱体(1)，以及安装在屏蔽箱体(1)内的升降机构(2)、衬底夹持工装(4)和电镀槽(5)；

所述升降机构(2)用于实现衬底夹持工装(4)在竖直方向的位移；

所述衬底夹持工装(4)包括挂镀夹持工装(41)和滚镀夹持工装(42)，所述挂镀夹持工装(41)包括极片(411)和衬底压板，所述极片(411)的上部与升降机构(2)可拆卸式连接，极片(411)的下部与用于安装衬底(100)的衬底压板连接；所述滚镀夹持工装(42)包括与滚镀支撑柱(421)、铜排(422)和滚镀电极(424)，所述滚镀支撑柱(421)的顶部与升降机构(2)可拆卸式连接，所述滚镀电极(424)和铜排(422)均安装在滚镀支撑柱(421)上，且铜排(422)的一端与滚镀电极(424)上的滚镀头(4241)连接，所述滚镀电极(424)用于安装衬底(100)；

所述电镀槽(5)包括外槽和内槽，所述内槽可拆卸式安装在外槽内，所述内槽包括与挂镀夹持工装(41)相匹配的方形槽和与滚镀夹持工装(42)相匹配的圆形槽。

2.根据权利要求1所述的一种镍-63放射源制备装置，其特征在于，所述屏蔽箱体(1)采用屏蔽材料制成，所述屏蔽箱体(1)设置有手套箱门(7)；所述屏蔽箱体(1)上设置有通风管(8)。

3.根据权利要求1所述的一种镍-63放射源制备装置，其特征在于，所述升降机构(2)包括模组安装件(210)、第一伺服电机(21)和第二伺服电机(30)、模组安装件(210)和上下移拖板(22)；

所述模组安装件(210)上设置有移动滑台(32)，所述上下移拖板(22)滑动设置在移动滑台(32)上，所述第二伺服电机(30)安装在模组安装件(210)上，用于驱动上下移拖板(22)在移动滑台(32)上移动；

所述上下移拖板(22)上设置有安装座(24)，所述安装座(24)上安装有第一伺服电机(21)，所述第一伺服电机(21)的输出轴朝下设置，所述第一伺服电机(21)的输出轴通过转动轴(29)连接有安装板(211)，所述衬底夹持工装(4)与安装板(211)可拆卸式连接。

4.根据权利要求3所述的一种镍-63放射源制备装置，其特征在于，所述安装座(24)上安装有旋转座(27)，所述旋转座(27)内设置有中心通孔，所述转动轴(29)通过轴承(25)穿设在中心通孔内。

5.根据权利要求3所述的一种镍-63放射源制备装置，其特征在于，所述升降机构(2)还包括下机械限位(26)、导电滑环止转件(28)和导电滑环(33)，所述下机械限位(26)、导电滑环止转件(28)和导电滑环(33)均安装在上下移拖板(22)下方。

6.根据权利要求1所述的一种镍-63放射源制备装置，其特征在于，所述衬底压板包括环形挂镀压板(412)和铜板(413)，所述铜板(413)与极片(411)连接，所述铜板(413)的一个竖向侧壁设置有用于放置衬底(100)的凹槽，所述环形挂镀压板(412)与铜板(413)可拆卸式连接，用于压紧衬底(100)。

7.根据权利要求1所述的一种镍-63放射源制备装置，其特征在于，所述滚镀支撑柱(421)上设置有用于可拆卸式放置滚镀电极(424)的电极卡槽(4211)，所述滚镀电极(424)通过环形滚镀压板(423)固定在卡槽内；

所述滚镀电极(424)包括一端为开口端的槽状结构，所述槽状结构的两个竖向对称侧壁上对称设置有用于放置衬底(100)的衬底卡槽(4242)，所述槽状结构的顶部设置有滚镀头(4241)。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种镍-63放射源制备装置，其特征在于，还包括悬臂操作箱(3)，所述悬臂操作箱(3)通过支撑杆安装在屏蔽箱体(1)上，所述悬臂操作箱(3)用于控制升降机构(2)和电镀槽(5)。