[发明专利]掩模组件

权利要求书

1.一种表膜框架，所述表膜框架被配置成能够用可释放方式与适合用于光刻工艺中的图案形成装置接合，所述表膜框架包括：

凸片，所述凸片从所述表膜框架的外边缘突出，所述凸片包括开口；和

接合机构，所述接合机构具有对应地成形以被接纳于所述凸片的所述开口中的外壁，

其中所述接合机构是被配置成在所述图案形成装置与所述表膜框架之间提供以可释放的方式可接合的附接的安装件的一部分。

2.根据权利要求1所述的表膜框架，其中所述接合结构包括锁定构件，所述锁定稿件包括一个或更多个接合臂。

3.根据权利要求2所述的表膜框架，其中所述一个或更多个接合臂大致平行于所述表膜框架或所述图案形成装置的平面延伸。

4.根据权利要求2所述的表膜框架，其中所述锁定构件包括具有未固定端的一对弹簧，所述未固定端能够从第一锁定位置移动至第二解锁位置。

5.根据权利要求2所述的表膜框架，其中所述锁定构件还包括在一对弹性臂之间延伸的连接构件。

6.根据权利要求5所述的表膜框架，其中所述弹性臂被配置用以在大致垂直于所述图案形成装置的图案形成表面的方向上挠曲。

7.根据权利要求5所述的表膜框架，其中所述弹性臂被配置成不在大致平行于所述图案形成装置的图案形成表面的方向上挠曲。

8.根据权利要求2所述的表膜框架，其中所述接合臂全部在与所述光刻设备的非扫描方向相对应的方向上延伸。

9.根据权利要求2所述的表膜框架，其中第一接合机构的所述接合臂大致平行于所述接合机构的所述一个或更多个臂延伸，且第二接合机构的所述接合臂大致垂直于所述接合机构的所述一个或更多个臂延伸。

10.根据权利要求1所述的表膜框架，其中所述表膜框架的每一侧设置有允许在第一方向上的移动的子安装件和允许在基本上垂直于所述第一方向的第二方向上的移动的子安装件。

11.根据权利要求10所述的表膜框架，其中所述子安装件作为补充对设置在所述表膜框架的相反侧上的等效位置处。

12.根据权利要求1所述的表膜框架，其中所述凸片被设置于所述表膜框架的在用于光刻设备期间在所述扫描方向上定向的、或垂直于所述扫描方向而定向的侧部上。

13.根据权利要求1所述的表膜框架，其中所述接合机构被配置成接纳突起。

14.根据权利要求1所述的表膜框架，其中所述安装件被配置用以相对于所述图案形成装置悬置所述表膜框架，使得所述表膜框架与所述图案形成装置之间存在间隙。

15.根据权利要求1所述的表膜框架，还包括围绕所述表膜框架分布的一个或更多个凹部。

16.根据权利要求15所述的表膜框架，其中所述凹部被成形为从所述表膜框架的外边缘部分地延伸至所述表膜框架的内边缘、且返回至所述表膜框架的所述外边缘，使得所述凹部连接至所述表膜框架的所述外边缘但不连接至所述表膜框架的所述内边缘并且由此限定所述表膜框架的表面中的岛状物。

17.一种表膜组件，包括由根据权利要求1至16中任一项所述的表膜框架所支撑的表膜，所述表膜包括延伸跨越所述表膜框架以便限定平面的薄膜部分、和附接至所述表膜框架的更厚的边界部分。

18.根据权利要求17所述的表膜组件，其中所述表膜的所述边界部分利用安置于根据权利要求15所述的表膜框架中的凹部中的胶附接至所述表膜框架。