[发明专利]激光器老化测试装置在审
申请号: | 202211281514.X | 申请日: | 2022-10-19 |
公开(公告)号: | CN115542054A | 公开(公告)日: | 2022-12-30 |
发明(设计)人: | 于洋;赵卫东;张艳春;杨国文;雷谢福;刘杰 | 申请(专利权)人: | 度亘激光技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R31/01;G01R31/26 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 杨萌 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光器 老化 测试 装置 | ||
本发明提供一种激光器老化测试装置,涉及半导体技术领域,安装件上设有多个半导体激光器,将安装件与第一驱动组件连接后,可以一次性上料多个半导体激光器,并且在第一驱动组件和第二驱动组件的带动下,能够自动带动多个半导体激光器移动至预设位置,对多个半导体激光器进行批量通电和断电,老化完成后,第一驱动组件能够带动多个半导体激光器批量回到初始位置,以进行下料。该激光器老化测试装置能够批量化进行上料、通电、断电和下料,能够批量化完成半导体激光器的老化测试,并且半导体激光器移动至预设位置可以自动进行,上述因素均能够提高半导体激光器老化测试的效率。
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,尤其是涉及一种激光器老化测试装置。
背景技术
激光器老化测试是激光器生产的重要步骤之一,激光器老化测试工序是检验激光器可靠性的关键手段之一。
现有技术中,在对多个激光器进行老化测试的过程中,激光器老化装置需要分别对每一个激光器加电并记录数据。
然而,每个激光器都需要进行上料、加电、断电和下料的操作,操作费时,导致激光器老化测试的效率较低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种激光器老化测试装置,以解决现有技术中的激光器老化测试效率较低的技术问题。
本发明提供的激光器老化测试装置,包括第一驱动组件、第二驱动组件、加电组件和半导体激光器组件;
所述半导体激光器组件包括安装件和多个半导体激光器;多个半导体激光器均与所述安装件连接;所述安装件与所述第一驱动组件可拆卸地连接,所述第一驱动组件能够带动所述安装件沿第一方向滑动;多个所述半导体激光器均设有第一电连接件;
所述加电组件与所述第二驱动组件连接,所述第二驱动组件能够带动所述加电组件沿第二方向滑动,以使所述加电组件朝向或远离多个所述半导体激光器移动;所述加电组件沿第二方向滑动至预设位置时,所述加电组件能够分别与多个所述第一电连接件接触,以对多个所述半导体激光器通电;
沿第二方向,所述第二驱动组件设置在所述第一驱动组件的一侧,且所述第一方向与所述第二方向垂直。
进一步地,所述安装件上设有进液口和出液口,且所述安装件内部设有流道,所述流道的一端与所述进液口连通,所述流道的另一端与所述出液口连通。
进一步地,所述第一驱动组件包括第一滑台和第一驱动装置;
所述第一驱动装置与所述第一滑台连接,所述第一驱动装置能够驱动所述第一滑台沿第一方向滑动;所述第一滑台与所述安装件可拆卸地连接。
进一步地,所述加电组件包括固定件、多个第二电连接件和多个第三电连接件;
所述固定件包括相背设置的第一端面和第二端面,所述第一端面朝向所述第一驱动组件设置;
所述第二电连接件与所述固定件固定连接;
所述第二电连接件包括相对设置的第一端和第二端,所述第一端伸出所述第一端面,所述第二端伸出所述第二端面;多个所述第二端通过第三电连接件依次串联;
所述加电组件沿第二方向滑动至预设位置时,多个所述第一电连接件与多个所述第一端一一对应接触,以对多个所述半导体激光器通电。
进一步地,所述第一端与所述第一电连接件面接触。
进一步地,所述加电组件还包括电源和两个第四电连接件;
位于多个所述第二电连接件两端的第二电连接件的第二端分别与两个第四电连接件一一对应连接,
两个所述第四电连接件分别与电源的正极和负极一一对应连接。
进一步地,所述激光器老化测试装置还包括控制组件;
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