[发明专利]晶圆检测用数据处理系统、处理方法和晶圆检测设备

权利要求书

1.一种晶圆检测用数据处理系统，其特征在于：

所述数据处理系统包括图像采集模块、数据采集模块、数据调度同步管理模块、数据分发模块、数据处理模块和数据输出模块；系统的网络包括通信网络和图像传输网络两个专用网络，分别用于各模块间的通信传输和图像传输；其中，数据采集模块和数据处理模块解耦，数据调度同步管理模块根据整个数据处理系统的负载对整个系统进行调度，并在负载高于负载阈值时外部触发暂停图像采集模块采图。

2.根据权利要求1所述的数据处理系统，其特征在于：

所述图像采集模块采用线扫TDI相机，所述图像采集模块由客户操控端的外部程序触发开始或停止图像采集工作。

3.根据权利要求1所述的数据处理系统，其特征在于：

所述数据采集模块包括图像收集单元(DataServer)、图像存储集群单元(DataServer1、DataServer2……DataServerM，M为大于等于1的正整数)、图像分发单元(DataServerHost)；其中，图像收集单元(DataServer)接收图像采集模块采集的晶圆图像；图像存储集群单元(DataServer1、DataServer2……DataServerM)用于按调度要求存储更新接收的晶圆图像。

4.根据权利要求1所述的数据处理系统，其特征在于：

所述数据处理模块包括任务分配主机(HPCHost)和多个计算节点(Compute Node1、Compute Node2……ComputeNodeN，N为大于等于2的正整数)，用于接收从数据采集模块存储的晶圆图像并进行图像计算，获得检测的计算结果。

5.根据权利要求1所述的数据处理系统，其特征在于：

所述数据调度同步管理模块对数据采集模块的图像存储集群单元(DataServer1、DataServer2……DataServerM)和数据处理模块的多个计算节点(Compute Node1、ComputeNode2……ComputeNodeN)的数据调度，并通过调度指令对数据采集模块和数据处理模块进行同步。

6.根据权利要求1所述的数据处理系统，其特征在于：

所述负载阈值为数据采集模块处理负载的80％～90％。

7.根据权利要求1所述的数据处理系统，其特征在于：

所述数据分发模块用于将数据采集模块的图像数据根据调度分配给数据处理模块的多个计算节点(Compute Node1、Compute Node2……ComputeNodeN)。

8.根据权利要求1所述的数据处理系统，其特征在于：

所述图像传输网络采用RDMA方式的IB图像传输网络，用以解决数据延迟问题。

9.一种晶圆检测用数据处理方法，其特征在于，处理方法基于权利要求1-8任一项所述的数据处理系统，数据处理方法包括：

S1、客户操控端下发检测指令；

S2、数据处理系统的数据调度同步管理模块接收任务并进入任务队列；

S3、启动晶圆检测任务；

S4、数据调度同步管理模块下发任务即将开始命令给数据处理系统；

S5、数据处理系统初始化检测状态；

S6、开始接收图片并生成检测任务列表，图像采集模块、数据采集模块、数据处理模块启动，通过数据调度同步管理模块和数据分发模块将数据采集模块的图像数据传输给数据处理模块；

S7、计算任务分发，数据处理模块的任务分配主机(HPCHost)将任务按内置调度算法分配给合适的计算节点；

S8、计算节点接收计算任务并从图像存储集群单元(DataServer1、DataServer2……DataServerM)读取图像数据；

S9、计算检测结果，计算节点计算读取的图像数据，获得检测结果并上传到存储服务器，输出检测结果。

10.一种晶圆检测设备，其特征在于，设备包括操控工作台(1)、机柜(2)、上下料集成站(3)、检测站(4)、冷却系统(5/6)；所述设备基于权利要求1-8任一项所述的数据处理系统并通过权利要求9的方法进行晶圆检测；

所述冷却系统(5/6)用于对检测站(4)光学和运动载台的恒温控制；

所述上下料集成站(3)用于向检测站(4)提供晶圆的上下料；

所述机柜(2)用于晶圆图像采集后的存储、计算和更新；

所述操控工作台(1)用于开启、暂停、关闭检测动作，并用于显示检测过程和结果。