[发明专利]一种膜层厚度表征方法

权利要求书

1.一种膜层厚度表征方法，其特征在于，包括：

提供一具有多个膜层叠层的测试样品；

获取各所述膜层的电子能量损失谱，依据所述电子能量损失谱中各所述膜层的强度信号，得到能量损失区间；

在透射电子显微镜的能量过滤模式下，选取所述能量损失区间中的能量损失值作为参数进行输入，得到各所述膜层的表征图像，确定目标膜层的厚度。

2.根据权利要求1所述的膜层厚度表征方法，其特征在于，所述获取各所述膜层的电子能量损失谱，依据所述电子能量损失谱中各所述膜层的强度信号，得到能量损失区间，具体包括：

获取各所述膜层的电子能量损失谱，在各所述电子能量损失谱上选取其中一个所述膜层的强度信号同时大于两个其他所述膜层的强度信号时对应的能量损失值，从中选出符合标准的能量损失区间。

3.根据权利要求2所述的膜层厚度表征方法，其特征在于，所述测试样品包括自上而下依次相邻且材质各不相同的第一上层膜层、目标膜层和第一下层膜层；所述获取各所述膜层的电子能量损失谱，在各所述电子能量损失谱上选取其中一个所述膜层的强度信号同时大于两个其他所述膜层的强度信号时对应的能量损失值，从中选出符合标准的能量损失区间，具体包括：

获取所述目标膜层的第一电子能量损失谱、所述第一上层膜层的第二电子能量损失谱和所述第一下层膜层的第三电子能量损失谱；

根据各所述电子能量损失谱确定第一能量损失区间和第二能量损失区间，其中所述第一能量损失区间中，每一个所述能量损失值上对应的所述第一电子能量损失谱上的第一强度信号均大于所述第二电子能量损失谱上对应的第二强度信号，且所述第二能量损失区间中，每一个所述能量损失值上对应的所述第一电子能量损失谱上的所述第一强度信号均大于所述第三电子能量损失谱上对应的第三强度信号；

选取所述第一能量损失区间与所述第二能量损失区间之间的交集区间作为所述能量损失区间。

4.根据权利要求2所述的膜层厚度表征方法，其特征在于，所述测试样品包括自上而下依次相邻且材质各不相同的第一上层膜层、目标膜层和第一下层膜层；所述获取各所述膜层的电子能量损失谱，在各所述电子能量损失谱上选取其中一个所述膜层的强度信号同时大于两个其他所述膜层的强度信号时对应的能量损失值，从中选出符合标准的能量损失区间，具体包括：

获取所述目标膜层的第一电子能量损失谱、所述第一上层膜层的第二电子能量损失谱和所述第一下层膜层的第三电子能量损失谱；

根据各所述电子能量损失谱确定第一能量损失区间和第二能量损失区间，其中所述第一能量损失区间中，每一个所述能量损失值上对应的所述第一电子能量损失谱上的第一强度信号均大于所述第二电子能量损失谱上对应的第二强度信号，且所述第二能量损失区间中，每一个所述能量损失值上对应的所述第一电子能量损失谱上的所述第一强度信号均大于所述第三电子能量损失谱上对应的第三强度信号；

在所述第一能量损失区间中，计算每一个所述能量损失值上对应的所述第二强度信号与所述第一强度信号之间的第一强度信号比值，在所述第二能量损失区间中，计算每一个所述能量损失值上对应的所述第三强度信号与所述第一强度信号之间的第二强度信号比值；

将所述第一强度信号比值均小于第一阈值且连续的子区间，确定为第三能量损失区间，并将所述第二强度信号比值均小于所述第一阈值且连续的子区间，确定为第四能量损失区间；

选取所述第三能量损失区间与所述第四能量损失区间之间的交集区间作为所述能量损失区间。

5.根据权利要求4所述的膜层厚度表征方法，其特征在于，所述第一阈值范围为60％～80％。

6.根据权利要求4所述的膜层厚度表征方法，其特征在于，所述第三能量损失区间和所述第四能量损失区间的范围为5～10eV。