[发明专利]一站式多功能光罩和基板转移设备和方法

权利要求书

1.一种一站式多功能光罩和基板转移设备，其特征在于，所述一站式多功能光罩和基板转移设备包括：

密闭室；

五片盒（10），放置在所述密闭室中，所述五片盒（10）的卡槽内安装有重力感应器（11），所述重力感应器（11）用于在基板（50）装入所述卡槽后发出位置讯息；

视觉手臂组，安装在所述密闭室中，所述视觉手臂组用于根据所述位置讯息从所述五片盒（10）中夹取基板（50），所述视觉手臂组上设置有视觉辅助抓取相机（41），所述视觉辅助抓取相机（41）用于判断光罩或所述基板（50）的正面或反面、并发出正反面判定讯息，所述视觉手臂组根据预设需求和所述正反面判定讯息带动所述光罩或所述基板（50）翻转至正面朝上或反面朝上；

锁止机构（20），安装在所述密闭室中，所述锁止机构（20）用于锁止所述五片盒（10）的底部；

上盖爪（30），安装在所述密闭室中，所述上盖爪（30）用于抓取所述五片盒（10）的上盖（12）；

翻转机构，所述锁止机构（20）安装在所述翻转机构上，所述翻转机构用于带动所述锁止机构（20）和所述五片盒（10）侧翻，以便所述视觉手臂组抓取光罩和基板（50）；

光罩传送盒，用于承接所述视觉手臂组送来的光罩和基板（50）。

2.根据权利要求1所述的一站式多功能光罩和基板转移设备，其特征在于，所述视觉手臂组包括第一视觉手臂和第二视觉手臂（40），所述视觉辅助抓取相机（41）安装在所述第二视觉手臂（40）上，所述第一视觉手臂用于从所述五片盒（10）中夹取光罩或基板（50）、并将光罩或基板（50）交接给所述第二视觉手臂（40），所述第二视觉手臂（40）用于带动光罩或所述基板（50）翻转至正面朝上或反面朝上。

3.根据权利要求2所述的一站式多功能光罩和基板转移设备，其特征在于，所述一站式多功能光罩和基板转移设备还包括：

光罩中转站，所述第一视觉手臂与所述第二视觉手臂（40）在所述光罩中转站实现光罩或基板（50）的交接。

4.根据权利要求3所述的一站式多功能光罩和基板转移设备，其特征在于，所述密闭室包括取片区、手臂区、中转区和调整区，所述五片盒（10）、所述锁止机构（20）、所述上盖爪（30）和所述翻转机构位于所述取片区，所述视觉手臂组连接在所述手臂区，所述光罩中转站位于所述中转区，所述光罩传送盒放置在所述调整区。

5.一种一站式多功能光罩和基板转移方法，其特征在于，所述一站式多功能光罩和基板转移方法采用权利要求1所述的一站式多功能光罩和基板转移设备。

6.根据权利要求5所述的一站式多功能光罩和基板转移方法，其特征在于，所述一站式多功能光罩和基板转移方法包括：

根据所述位置讯息，控制所述视觉手臂组从所述五片盒（10）中夹取基板（50）；

控制所述视觉辅助抓取相机（41）判断所述光罩和基板（50）的正面或反面、并发出正反面判定讯息；

根据预设需求和所述正反面判定讯息，控制所述视觉手臂组带动所述光罩和基板（50）翻转至正面朝上或反面朝上。

7.根据权利要求6所述的一站式多功能光罩和基板转移方法，其特征在于，所述视觉手臂组包括第一视觉手臂和第二视觉手臂（40），所述第一视觉手臂用于从所述五片盒（10）中夹取基板（50）、并将基板（50）交接给所述第二视觉手臂（40），所述第二视觉手臂（40）用于带动所述光罩或基板（50）翻转至正面朝上或反面朝上。