[发明专利]高精密蚀刻引线框架用铜合金材料及其制备方法在审
申请号: | 202211306519.3 | 申请日: | 2022-10-25 |
公开(公告)号: | CN115369282A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 程万林;陈建华;杨浩跻;夏彬;陈佳程;苑和锋;杨文强;张佳俐;庞永杰 | 申请(专利权)人: | 宁波兴业盛泰集团有限公司;宁波兴业鑫泰新型电子材料有限公司;宁波鑫悦合金材料有限公司 |
主分类号: | C22C9/00 | 分类号: | C22C9/00;H01L23/495;B21C37/00;B22C9/22;C22C1/02;C22F1/08 |
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地址: | 315336 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 精密 蚀刻 引线 框架 铜合金 材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种高精密蚀刻引线框架用铜合金材料,其特征在于,按质量百分比计包括:Cr0.18%-0.38%、Sn 0.18%-0.32%、Zn 0.12%-0.32%、Si 0.002%-0.05%,余量为Cu以及不可避免的杂质。
2.根据权利要求1所述的高精密蚀刻引线框架用铜合金材料,其特征在于,按质量百分比计包括:Cr 0.23%、Sn 0.23%、Zn 0.19%、Si 0.014%,余量为Cu以及不可避免的杂质。
3.根据权利要求1所述的高精密蚀刻引线框架用铜合金材料,其特征在于,按质量百分比计还包括0.001%-0.15%的微量元素;
所述微量元素包括B、Mg、Ti、Zr、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Y或Sc中的至少一种。
4.权利要求1-3任一项所述高精密蚀刻引线框架用铜合金材料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
按照质量百分比配料,然后依次进行熔炼、浇铸、热轧、第一次冷轧、第二次冷轧、第一次退火、第三次冷轧和第二次退火,制备得到高精密蚀刻引线框架用铜合金材料。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述熔炼的温度为1200℃-1320℃;
所述浇铸的工艺参数包括:浇铸的温度为1150℃-1290℃、引拉速度为40-70毫米/分钟、拉铸速度为80-100毫米/分钟、冷却水流量为50-100立方米/小时、结晶器振动频率为40-60次/分钟。
6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,熔炼过程中,用石墨鳞片覆盖剂覆盖;
熔炼过程中,成分合格后用石墨粉覆盖剂覆盖后浇铸;
浇铸过程中,流槽用主要由CaCO3、CaF2和MgCO3组成的覆盖剂覆盖;
浇铸过程中,结晶器用黑碳粉覆盖剂覆盖。
7.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述热轧的温度为925℃-965℃,热轧带坯淋水冷却;
所述热轧的加工率为85%-95%,每道次加工率各自独立的为13%-45%。
8.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述第一次冷轧的加工率为80%-90%,每道次加工率各自独立的为13%-31%;
所述第二次冷轧和第三次冷轧的总加工率为85%-95%;
所述第二次冷轧的每道次加工率各自独立的为24%-34%,所述第三次冷轧的每道次加工率各自独立的为10%-35%。
9.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述第一次退火为钟罩退火;
所述钟罩退火包括:1.5-2.5小时升到240℃-260℃,保温3.5-4.5小时,然后2.5-3.5小时升到380℃-480℃,保温7-9小时;
所述第二次退火为连续退火,所述第二次退火的温度为380℃-480℃,所述第二次退火的速度为14-26米/分钟。
10.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述第一次退火后,采用清洗设备去除富铬氧化层及油污,清洗速度为15-40米/分钟,刷子压下电流为15A-30A;
所述第二次退火后,采用清洗设备去除富铬氧化层及油污,清洗速度为10-35米/分钟,刷子压下电流为0.5A-3A。
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