[发明专利]晶体生长炉

权利要求书

1.一种晶体生长炉，其特征在于，包括：

机架(10)；

提拉杆(30)；

操纵机构(20)，设置于所述机架(10)，所述提拉杆(30)设置于所述操纵机构(20)，所述操纵机构(20)包括第一输出轴(21)和第二输出轴，所述第一输出轴(21)用于驱动所述提拉杆(30)水平移动，所述第二输出轴用于驱动所述提拉杆(30)沿着自身轴线转动；

炉室(40)，包括具有腔体的炉体(41)和盖合于所述炉体(41)的炉盖(42)，所述炉盖(42)上设有避让通道(421)，所述提拉杆(30)穿过所述避让通道(421)伸入所述腔体，且所述避让通道(421)允许所述提拉杆(30)水平移动；以及

密封机构(50)，套设于所述提拉杆(30)，用于盖封所述避让通道(421)。

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述密封机构(50)包括密封座(51)和施力组件(52)，所述密封座(51)套设于所述提拉杆(30)，所述密封座(51)具有盖封所述避让通道(421)的密封面(511)，所述施力组件(52)连接于所述密封座(51)以驱使所述密封座(51)压接于所述炉盖(42)。

3.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，所述密封座(51)具有允许所述提拉杆(30)穿过的中空腔(512)，所述中空腔(512)内设有内螺纹(5121)，所述施力组件(52)包括外传动套(521)和与所述外传动套(521)传动连接的内传动套(522)，所述内传动套(522)卡设于所述提拉杆(30)用于随所述提拉杆(30)转动，所述外传动套(521)的外周面设有与所述内螺纹(5121)螺纹连接的外螺纹(5211)。

4.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述内传动套(522)的外周面设有多个间隔设置的弹性的第一凸条(5221)，所述外传动套(521)的内周面间隔设置有多个弹性的第二凸条，所述第一凸条(5221)与所述第二凸条错位设置。

5.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述提拉杆(30)上设有沿着所述提拉杆(30)的长度方向设置的卡槽(31)或卡块(5222)中的一者，所述内传动套(522)的内壁面上设有所述卡槽(31)或所述卡块(5222)中的另一者，所述卡块(5222)可滑动地卡设于所述卡槽(31)。

6.根据权利要求4所述的晶体生长炉，其特征在于，所述施力组件(52)还包括锁止件(523)和第一弹性件(524)，所述外传动套(521)的内壁面上设有容置槽(5212)，所述第一弹性件(524)一端固设于所述容置槽(5212)的槽壁另一端固设于所述锁止件(523)，所述锁止件(523)上设有与所述第一凸条(5221)错位设置的第三凸条(5231)，所述锁止件(523)具有凸出于所述外传动套(521)的内壁面状态下的传动状态和容置于所述容置槽(5212)内的滑动状态。

7.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述密封机构(50)还包括第一密封圈(53)，所述第一密封圈(53)套设于所述外传动套(521)且位于所述外传动套(521)与所述中空腔(512)的腔壁之间。

8.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述密封机构(50)还包括第二密封圈(54)，所述第二密封圈(54)位于所述密封面(511)与所述炉盖(42)之间。

9.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，所述密封机构(50)还包括滑动组件(55)，所述密封座(51)可滑动地连接于所述滑动组件(55)，所述滑动组件(55)设置于所述炉盖(42)。

10.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述操纵机构(20)还包括第一基座和第二基座(22)，所述第一基座固设于所述机架(10)，所述第一输出轴(21)的一侧滑动连接于所述第一基座，所述第二基座(22)连接于所述第一输出轴(21)的远离所述第一基座的一侧，所述第二输出轴转动连接于所述第二基座(22)，所述提拉杆(30)连接于所述第二输出轴。