[发明专利]具有输出蒸汽压的时间稳定性的升华单元

权利要求书

1.一种提供待经由气相沉积而沉积的材料的源单元，所述源单元包含：

第一材料坩埚，其包含用于盛放待经由气相沉积而沉积的第一材料的凹陷；

第一加热器，其经配置以设定所述第一材料坩埚的温度；

安置在所述第一材料坩埚下游的第二材料坩埚，所述第二材料坩埚包含：

用于盛放待经由气相沉积而沉积的第二材料的凹陷；和

与所述第一材料坩埚流体连通的第一排气孔；和

第二加热器，其经配置以独立于所述第一材料坩埚的所述温度来设定所述第二材料坩埚的温度，

其中所述第一材料坩埚和所述第二材料坩埚并列布置。

2.根据权利要求1所述的源单元，其进一步包含：

安置在所述第二材料坩埚下游的第三材料坩埚，所述第三材料坩埚包含：

用于盛放待经由气相沉积而沉积的第三材料的凹陷；和

与所述第二材料坩埚流体连通的第二排气孔；和

第三加热器，其经配置以独立于所述第一和第二材料坩埚的所述温度来设定所述第三材料坩埚的温度。

3.根据权利要求1所述的源单元，其进一步包含所述第一材料。

4.根据权利要求3所述的源单元，其进一步包含所述第二材料和所述第三材料，并且其中所述第一、第二和第三材料包含相同材料。

5.根据权利要求3所述的源单元，其中所述第一材料是有机发射材料。

6.根据权利要求1所述的源单元，其中所述第一排气孔包含位于所述第一材料坩埚与所述第二材料坩埚之间的反向连接。

7.根据权利要求6所述的源单元，其中所述第二排气孔包含位于所述第二材料坩埚与所述第三材料坩埚之间的反向连接。

8.根据权利要求2所述的源单元，其中所述第二材料坩埚和所述第三材料坩埚并列布置。

9.根据权利要求1所述的源单元，其中在所述源单元在气相沉积系统中运行期间，所述源单元经配置以将所述第一材料坩埚的温度维持在低于所述第二材料坩埚的温度下。

10.根据权利要求2所述的源单元，其中在所述源单元在所述气相沉积系统中运行期间，所述源单元经配置以将所述第二材料坩埚的温度维持在低于所述第三材料坩埚的温度下。

11.根据权利要求1所述的源单元，其中在所述源单元在气相沉积系统中运行期间，所述源单元经配置以随时间推移改变所述第一材料坩埚的所述温度和所述第二材料坩埚的温度。

12.一种操作蒸发源单元的方法，所述方法包含：

引导惰性运载气体通过第一材料坩埚，所述第一材料坩埚包含用于盛放待经由气相沉积而沉积的第一材料的凹陷；

将所述第一材料坩埚加热到第一温度；

将所述惰性运载气体从所述第一材料坩埚引导通过安置在所述第一材料坩埚下游的第二材料坩埚，所述第二材料坩埚包含：

用于盛放待经由气相沉积而沉积的第二材料的凹陷；和

与所述第一材料坩埚流体连通的第一排气孔；和

将所述第二材料坩埚加热到独立于所述第一温度的第二温度，

其中所述第一材料坩埚和所述第二材料坩埚并列布置。

13.根据权利要求12所述的方法，其进一步包含：

在引导所述运载气体通过所述第一材料坩埚之后和在引导所述运载气体通过所述第二材料坩埚之前，引导所述运载气体通过反向连接。

14.一种蒸发源单元，其包含：

布置于所述单元的中央内部区域周围的多个运载气体喷射口；和

盛放可蒸发材料源的材料装料载体；

其中所述多个运载气体喷射口以足以在所述蒸发源单元的运行期间在所述材料装料载体上方形成运载气体的涡流的角度指向所述材料装料载体。