[发明专利]一种基板搬送系统

说明书

本发明涉及运输系统技术领域，尤其为一种基板搬送系统，包括第一空间和第二空间，所述第一空间和第二空间为上下布置，所述第一空间的内部设置有第一组立体仓储，所述第二空间设置有卡匣，所述第一组立体仓储垂直对应的位置设置有第二组立体仓储，所述第一组立体仓储与第二组立体仓储垂直连接有进给装置；本发明能够混合使用每片方式和卡匣方式对基板移送，同时采用每片方式和卡匣方式并行进给基板，从而减少工艺装备的等待时间，进一步提高生产效率，该系统可随着产量的增大，无需卡匣或基板的等待时间而直接投入到工艺装备中，从而增大生产效率，解决了目前的移送方式存在缺陷，采用的方式过于单一，效率低下的问题。

技术领域

本发明涉及运输系统技术领域，具体为一种基板搬送系统。

背景技术

近来随着手机（MobilePhone）、PDA、笔记本电脑等各种便携式电子设备的发展，人们对适用于它的轻薄短小用平板显示设备（FlatPanelDisplayDevice）的要求逐渐增大。这些平板显示器包括LCD（液晶显示屏）、等离子显示面板（PDP）、OLED等都在积极的研究中，但由于量产化技术、驱动手段的易用性、高画质的实现等原因，目前液晶显示元件（LCD）受到了人们的青睐。

如图1所示，液晶显示元件（1‘）由下部基板（5’）和上部基板（3‘）以及形成于上述下部基板（5’）和上部基板（3‘）之间的液晶层（7’）组成。下部基板（5‘）为驱动元件阵列基板，虽然示意图上没有详细图示，但在上述下部基板（5‘）上形成了多个像素，每个像素上形成了一个驱动元件，例如薄膜晶体管（Thin Film Transistor）。上部基板（3‘）是彩色滤波（Color Filter）基板，形成了用于实现实际彩色的彩色滤波层。此外，在上述下部基板（5‘）及上部基板（3’）上分别形成了像素电极及共同电极，并涂布了用于背向液晶层（7‘）上的液晶分子的背向膜。上述下部基板（5‘）和上部基板（3’）由密封材料（Sealing Material）（9‘）合拢；其间形成了液晶层（7‘），由在上述下部基板（5’）上形成的驱动元件驱动液晶分子，通过控制穿透液晶层的光量来显示信息。

液晶显示元件的制造工艺大致可分为在下部基板（5‘）上形成驱动元件的驱动元件阵列基板工艺和在上部基板（3’）上形成彩色滤波器的彩色滤波器基板工艺及成盒（Cell）工艺，这些液晶显示元件的工艺参照图2说明如下:

首先，由驱动元件阵列工艺排列在下基板（5‘）上定义像素区域的多个栅极线（Gate Line）和形成数据线（Data Line），并在上述像素区域的每一个上形成与上述栅极线连接到数据线的驱动元件--薄膜晶体管（S101）。此外，通过上述驱动元件阵列工艺接入上述薄膜晶体管，随着信号通过薄膜晶体管得到认可，形成驱动液晶层的像素电极。此外，在上基板（3‘）上，与由彩色滤波工艺实现彩色的R、G、B的彩色滤波层形成共同电极（S104）。

接着在上述上部基板（3‘）和下部基板（5’）上分别涂布背向膜后形成于上部基板（3‘）和下部基板（5’）之间的液晶层的液晶分子上施加背向控制力或表面固定力（即Rubbing,上述背向膜以提供预倾斜角（Pre-Tilt Angel）和背向方向）（S102，S105）。之后，在下部基板（5‘）上散布用于保持液晶层间隙（CellGap）的隔板（Spacer），并在上部基板（3’）的外围涂敷密封材料，然后在上述下部基板（5‘）和上部基板（3’）上施加压力，从而达到合拢（S103、S106、S107）。另一方面，上述下部基板（5‘）和上部基板（3’）由大面积的玻璃基板组成。换句话说，由于在大面积的玻璃基板上形成多个面板（Panel）区域，且在上述面板区域的每个区域上形成驱动元件TFT及彩色滤光层，因此为了制作单块液晶面板，必须对上述玻璃基板进行切割、加工（S108）。之后，在如上所述加工的单个液晶面板上通过液晶柱入口注入液晶，并将上述液晶柱入口封装形成液晶层，然后通过检查各液晶面板来制作液晶显示元件（S109，S110）。通过上述工艺制作的液晶显示元件很容易由灰尘等污染物产生不良，因此液晶显示元件的制造空间是在洁净室（Clean Room）进行的。