[发明专利]一种高性能铜镍硅铬合金板材及其加工方法和应用

权利要求书

1.一种高性能铜镍硅铬合金板材，其特征在于，包括以下重量百分含量的原料：镍2.2-3.0%，硅0.3-1.2%，铬0.3-1.5%，铁0.02-0.1%，磷0.005-0.01%，余量为铜和少量杂质。

2.根据权利要求1所述的高性能铜镍硅铬合金板材，其特征在于，所述的高性能铜镍硅锡铬合金板材的厚度为16~30mm。

3.一种权利要求1或2所述的高性能铜镍硅铬合金板材的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）熔炼铸造：按照合金化学成分进行熔炼铸造，熔炼温度1300-1360℃，铸造温度1280-1330℃，浇铸速度50-100mm/min，加工成铸锭；

（2）固溶热加工：采用步进式均匀化加热方式进行加热，温度范围为900~1200℃，速率为8~12 m/min，然后在温度880-950℃下进行热加工，总加工率为88~96%，终轧温度为800-880℃，进行高温淬火，淬火温度60~100℃；

（3）时效热处理：温度450-550℃，保温时间2-24h，采用台车式加热炉，保温结束后出炉，采用空冷方式进行冷却至室温；

（4）铣面矫直：采用铣刀转速750-850rpm，机列运行速度2-5m/min进行1次铣面；

（5）切板：切后产品表面平整度不超过1mm/500mm。

4.根据权利要求3所述的加工方法，其特征在于，步骤（2）中的热加工的道次为5-7道次，单道次加功率逐步提高，第5-7道次单道次加功率为40~60%。

5.根据权利要求4所述的加工方法，其特征在于，步骤（2）中的热加工过程中最后一道次轧制速度控制在50-80m/min。

6.根据权利要求3所述的加工方法，其特征在于，步骤（1）中具体的熔炼步骤为，先添加阴极铜和镍板，等熔炼结束后，温度达到1300-1360℃时，添加硅锭、铜铁合金、铜铬合金、磷铜合金，熔炼20min后取样检测成分。

7.根据权利要求3所述的加工方法，其特征在于，步骤（1）中控制添加硅锭、铜铁合金、铜铬合金、磷铜合金熔炼结束后，需断电静置15-30min后进行后续操作。

8.根据权利要求3所述的加工方法，其特征在于，步骤（2）中所述的步进式均匀化加热方式为在炉区分十个小区，每个小区独立控制温度，第一个小区900℃，第十个小区1200℃，其它小区以33.3℃阶梯式上升。

9.根据权利要求3所述的加工方法，其特征在于，步骤（1）中铸锭的厚度为230mm。

10.一种权利要求1或2所述的高性能铜镍硅铬合金板材在高端集成电路用溅射靶材中的应用。