[发明专利]激光钻孔装置

权利要求书

1.一种激光钻孔装置，其特征在于，包括激光器、脉冲串生成模块以及加工组件；

所述激光器用于产生单脉冲激光光束；

所述脉冲串生成模块设于所述激光器的出射端以使所述单脉冲激光光束形成包括至少两个聚焦位置相同且具有时间差的子脉冲的激光脉冲串；

所述加工组件设于所述脉冲串生成模块的出射端，所述激光脉冲串射入所述加工组件以对工件进行钻孔加工。

2.如权利要求1所述的激光钻孔装置，其特征在于，

所述脉冲串生成模块包括分束单元和合束单元，所述分束单元用于将所述单脉冲激光束进行分束处理得到至少两个子脉冲；

所述合束单元用于对分束形成的所述子脉冲进行合束以形成聚焦位置相同且具有时间差的所述激光脉冲串。

3.如权利要求2所述的激光钻孔装置，其特征在于，

所述分束单元包括至少两个依次设置的分光镜，每一所述分光镜将射入的光束分束为第一光束和第二光束，前一所述分光镜分出的第二光束射入后一所述分光镜进行分束，每一所述分光镜分束的第一光束形成所述子脉冲；

所述合束单元包括依次设置的至少一个合束镜和一个反射镜，所述合束镜和所述反射镜与所述分光镜一一对应设置，其中所述反射镜对应最后一个所述分光镜设置，用于将最后一个所述分光镜分出的第一光束反射至与该反射镜相邻的所述合束镜，所述合束镜用于将对应的所述分光镜分出的第一光束和位于其后侧的所述合束镜或者所述反射镜出射的光束进行合束处理后射出。

4.如权利要求3所述的激光钻孔装置，其特征在于，所述分束单元还包括第一偏振波片，每相邻的两所述分光镜之间分别设有所述第一偏振波片，以调节每一所述第二光束的功率。

5.如权利要求3所述的激光钻孔装置，其特征在于，通过调节每一所述分光镜和/或每一所述合束镜的位置使每一所述子脉冲的聚焦位置相同。

6.如权利要求2所述的激光钻孔装置，其特征在于，所述子脉冲之间的时间差根据每一所述子脉冲的传输路径的光程设置。

7.如权利要求1所述的激光钻孔装置，其特征在于，所述加工组件包括扫描器件以及设于其出射端的聚焦镜，所述扫描器件接收所述激光脉冲串并控制其对工件进行扫描加工，所述聚焦镜用于对所述扫描器件出射的激光脉冲串进行聚焦。

8.如权利要求7所述的激光钻孔装置，其特征在于，所述加工组件还包括设于所述聚焦镜的出射端的载物台，所述载物台用于承载所述工件。

9.如权利要求1所述的激光钻孔装置，其特征在于，还包括设于所述激光器的出射端和所述脉冲串生成模块之间的扩束镜，所述扩束镜用于放大所述激光器出射的所述单脉冲激光光束的光斑。

10.如权利要求9所述的激光钻孔装置，其特征在于，所述扩束镜的出射端和所述脉冲串生成模块之间还设有第二偏振波片，以调节所述单脉冲激光光束的功率。