[发明专利]一种简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法

权利要求书

1.一种简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法，其特征在于，包括步骤如下：

(1)将涂有PMMA的铜基单层石墨烯进行金属面刻蚀，得到PMMA/石墨烯薄膜；

(2)去离子水清洗PMMA/石墨烯薄膜后，将其转移至Si/SiO₂衬底；

(3)将负载PMMA/石墨烯薄膜的Si/SiO₂衬底放置并夹紧于加装了振动组件的振动金属梁上，将振动金属梁垂直插入溶胀液内，磁力搅拌一定时间后提出；将振动金属梁垂直插入浸泡液内，开启振动组件，持续一定时间后提出，关闭振动组件；

所述溶胀液由苯甲醚和DMF组成，所述溶胀液中，苯甲醚的体积分数大于等于50％；所述浸泡液由二氯甲烷，和苯甲醚、丙酮、DMF中的一种或多种按比例配制而成，所述浸泡液中，二氯甲烷的体积分数大于50％；

所述振动组件由一个或多个振动马达按照线性分布或矩阵分布排列组成，各马达之间留有空隙；所述振动马达转速为5000-15000rpm；

(4)对负载PMMA/石墨烯薄膜的Si/SiO₂衬底进行冲洗，随后对负载石墨烯薄膜的Si/SiO₂衬底进行冲洗，吹干，获得已去除PMMA的负载石墨烯薄膜的Si/SiO₂衬底；所述对负载PMMA/石墨烯薄膜的Si/SiO₂衬底进行冲洗的清洗液由二氯甲烷和DMF配制而成；所述清洗液中，DMF的体积分数大于80％。

2.根据权利要求1所述简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法，其特征在于，(1)中涂有PMMA的铜基单层石墨烯的制备方法为：将化学气相沉积法生长的铜基单层石墨烯进行裁剪，在石墨烯表面旋涂PMMA后进行热固化处理，即得。

3.根据权利要求2所述简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法，其特征在于，所述PMMA包括商业市售液体PMMA和由溶剂与商业市售固体PMMA配置而成的溶液。

4.根据权利要求3所述简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法，其特征在于，所述商业市售液体PMMA，分子量为495k-950k；所述溶剂为丙酮、二氯甲烷、苯甲醚、N,N-二甲基甲酰胺DMF、甲苯、四氢呋喃、氯仿中的任意一种或多种任意比例混合物；所述溶液的质量分数为1％-4％。

5.根据权利要求2所述简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法，其特征在于，所述旋涂转速为1000-3500rpm。

6.根据权利要求2所述简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法，其特征在于，所述热固化处理温度为90-150℃，时间为3-15min。

7.根据权利要求1所述简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法，其特征在于，(1)中，所述金属面刻蚀为：将涂有PMMA的铜基单层石墨烯置于酸化氯化铁溶液表面进行金属面刻蚀，直至薄膜透明后捞取出，得到PMMA/石墨烯薄膜。

8.根据权利要求7所述简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法，其特征在于，所述酸化氯化铁溶液浓度为4％-10％，质量分数。

9.根据权利要求1所述简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法，其特征在于，(3)中，所述振动金属梁由金属或合金梁片和振动组件固定组合而成；

所述夹紧包括：采用金属梁边角翻折压紧或金属丝固定；

或，所述磁力搅拌为：通过磁子搅拌溶胀液，振动金属梁保持不动。

10.根据权利要求1所述简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法，其特征在于，(3)中，所述磁力搅拌转速为≥100rpm，搅拌时间为10s以上。

11.根据权利要求1所述简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法，其特征在于，(3)中，浸泡振动时间为10s以上。