[发明专利]提高胶合立方能量分光棱镜抗激光损伤阈值的胶合方法

权利要求书

1.一种提高胶合立方能量分光棱镜抗激光损伤阈值的胶合方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、设计能量分光膜膜系

使用Ti₂O₃薄膜材料为高折射率材料、SiO₂薄膜材料为低折射率材料，设计1000nm～1100nm的能量分光膜膜系；

步骤二、制备能量分光膜

两块表面抛光的45°直角棱镜A和直角棱镜B，在直角棱镜A的斜面沉积步骤一中的能量分光膜，直角棱镜B不镀膜；

步骤三、光胶法制备胶合立方能量分光棱镜

使用光胶法，按照立方棱镜的方向，将直角棱镜A镀有能量分光膜的斜面和直角棱镜B未镀膜的斜面相互贴合，制成胶合立方体棱镜；

步骤四、密封边缘，修整表面。

2.如权利要求1所述的提高胶合立方能量分光棱镜抗激光损伤阈值的胶合方法，其特征在于，步骤二中，直角棱镜A和直角棱镜B均为折射率1.46～1.56的任意玻璃材料胶合能量分光器件。

3.如权利要求2所述的提高胶合立方能量分光棱镜抗激光损伤阈值的胶合方法，其特征在于，所述直角棱镜A和直角棱镜B的斜面均含有向内30°～45°倒角。

4.如权利要求3所述的提高胶合立方能量分光棱镜抗激光损伤阈值的胶合方法，其特征在于，所述直角棱镜A斜面镀制的能量分光膜膜系膜系最后一层为SiO₂薄膜材料。

5.如权利要求4所述的提高胶合立方能量分光棱镜抗激光损伤阈值的胶合方法，其特征在于，所述直角棱镜A斜面镀制的能量分光膜最后一层SiO₂薄膜材料为任意厚度。

6.如权利要求5所述的提高胶合立方能量分光棱镜抗激光损伤阈值的胶合方法，其特征在于，步骤四中，直角棱镜A和直角棱镜B贴合后，形成的立方体棱镜的上下两个表面形成三角形沟槽，沟槽内使用光学粘接剂进行填充，并固化胶质，将上下两个表面多余的胶质修正平滑。

7.如权利要求6所述的提高胶合立方能量分光棱镜抗激光损伤阈值的胶合方法，其特征在于，所述直角棱镜A和直角棱镜B贴合形成的沟槽内以环氧树脂胶或光敏胶光学粘接剂填充。

8.如权利要求7所述的提高胶合立方能量分光棱镜抗激光损伤阈值的胶合方法，其特征在于，所述环氧树脂胶或光敏胶选用任意型号。

9.一种基于权利要求1-8中任一项所述的提高胶合立方能量分光棱镜抗激光损伤阈值的胶合方法在光学制造工艺技术领域中的应用。