[发明专利]一种正交布置的多质量MEMS陀螺

权利要求书

1.一种正交布置的多质量MEMS陀螺，包括锚点单元、弹性连接于所述锚点单元的传感单元、以及弹性连接于所述锚点单元和所述传感单元的驱动单元，其特征在于，

所述锚点单元包括位于一矩形中心位置的中心锚点子单元和四个分别位于所述矩形的四个角部位置的角部锚点；

所述传感单元包括四个呈框架结构且分别弹性连接于所述中心锚点子单元和各所述角部锚点之间并相互形成让位空间的检测质量块、以及四个分别位于各所述检测质量块的框架结构内部且弹性连接于对应的所述检测质量块的检测解耦件；

所述驱动单元包括四个分别位于各所述让位空间内的驱动质量块，以及分别弹性连接于各所述驱动质量块的驱动解耦件，所述驱动质量块位于所述矩形内，并与相邻的所述检测质量块弹性连接。

2.根据权利要求1所述的多质量MEMS陀螺，其特征在于：所述中心锚点子单元包括位于所述矩形中心的耦合环，以及环绕所述耦合环布置的中心锚点。

3.根据权利要求2所述的多质量MEMS陀螺，其特征在于：所述驱动解耦件包括分别位于各所述驱动质量块外侧的第一驱动解耦件，以及分别位于各所述驱动质量块与所述耦合环之间的第二驱动解耦件，所述第一驱动解耦件位于所述矩形外，所述第一驱动解耦件外侧布置有第一换能器。

4.根据权利要求3所述的多质量MEMS陀螺，其特征在于：所述耦合环的外壁顺着所述矩形的中心线方向向外延伸形成四个分别连接于各所述第二驱动解耦件的第一柔性梁，所述驱动质量块顺着所述矩形的中心线方向向内延伸形成连接于对应的所述第二驱动解耦件的第二柔性梁，所述第二驱动解耦件的两端朝向垂直于所述第一柔性梁和第二柔性梁的延伸方向向两侧延伸形成连接于所述中心锚点的第一弹性梁。

5.根据权利要求3所述的多质量MEMS陀螺，其特征在于：所述第一驱动解耦件靠近对应的所述驱动质量块一侧的外壁朝向所述驱动质量块延伸成第一导向梁，所述第一导向梁的远离第一驱动解耦件端连接于所述驱动质量块。

6.根据权利要求3所述的多质量MEMS陀螺，其特征在于：所述第一驱动解耦件的两端分别向内延伸形成连接于相邻的所述角部锚点的第三弹性梁。

7.根据权利要求2所述的多质量MEMS陀螺，其特征在于：所述耦合环向外延伸形成四个分别连接于各所述检测质量块的第二连接梁，所述第二连接梁包括由对应的所述检测质量块顺着所述矩形的对角线方向朝向所述耦合环延伸的第三柔性梁，以及由所述第三柔性梁的远离所述检测质量块端顺着所述耦合环的周向方向延伸并连接于所述耦合环的内壁的第二弹性梁。

8.根据权利要求1所述的多质量MEMS陀螺，其特征在于：所述锚点单元还包括位于所述检测质量块的框架结构内部并与所述检测解耦件并排布置的解耦锚点，所述检测解耦件的外壁沿着垂直于所述矩形的相应对角线的方向延伸形成连接于所述解耦锚点的第四弹性梁，所述检测解耦件的外壁顺着所述矩形的相应对角线的方向延伸形成连接于所述检测质量块内壁的第五弹性梁。

9.根据权利要求1所述的多质量MEMS陀螺，其特征在于：所述驱动质量块与相邻的所述检测质量块之间连接有耦合结构以实现弹性连接。

10.根据权利要求1所述的多质量MEMS陀螺，其特征在于：所述检测解耦件为框架结构，内部嵌置第二换能器；所述驱动质量块为框架结构，内部嵌置正交抑制电极。