[发明专利]一种应用于色度检测的复合型颜色滤光片阵列及制造方法在审
申请号: | 202211337476.5 | 申请日: | 2022-10-28 |
公开(公告)号: | CN115876321A | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 苏炎;李昱 | 申请(专利权)人: | 苏州众为光电有限公司 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/46;G02B5/20;C23C14/04;C23C14/08;C23C14/06 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人: | 杨明霞 |
地址: | 215000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 色度 检测 复合型 颜色 滤光 阵列 制造 方法 | ||
1.一种应用于色度检测的复合型颜色滤光片阵列,其特征在于:沿着光入射方向依次包括微透镜阵列、滤光片阵列、感光芯片,所述微透镜阵列包含若干透镜单元,所述滤光片阵列包含若干滤光片,所述感光芯片包含若干像素单元,所述透镜单元与所述滤光片对应,所述滤光片与所述像素单元对应,所述透镜单元汇聚入射光,汇聚的入射光经过对应的滤光片聚焦到对应的像素单元。
2.如权利要求1所述的一种应用于色度检测的复合型颜色滤光片阵列,其特征在于:所述滤光片阵列包括红色滤光片、绿色滤光片、蓝色滤光片。
3.如权利要求2所述的一种应用于色度检测的复合型颜色滤光片阵列,其特征在于:所述滤光片阵列还包括对比测试区域。
4.如权利要求3所述的一种应用于色度检测的复合型颜色滤光片阵列,其特征在于:所述对比测试区域包括红外滤光片、暗区、明区;其中,所述明区为无滤光片的区域,所述暗区为对可见光区域截止,不透光的区域。
5.如权利要求4所述的一种应用于色度检测的复合型颜色滤光片阵列,其特征在于:所述微透镜阵列包含六个透镜单元,每个所述透镜单元与所述滤光片阵列中的一个滤光片对应。
6.如权利要求4所述的一种应用于色度检测的复合型颜色滤光片阵列,其特征在于,所述感光芯片中的像素单元的个数为6的倍数,每个滤光片区域内的像素单元个数相同。
7.如权利要求2所述的一种应用于色度检测的复合型颜色滤光片阵列,其特征在于:所述红色滤光片、所述绿色滤光片、所述蓝色滤光片上的滤光膜均由高折射率的介质材料和低折射率的介质材料相互叠加而成;
所述高折射率的介质材料为Ta2O5、TiO2、Nb2O5中的至少一种混合物;
所述低折射率的介质材料为SiO2、Al2O3、MgF2中的至少一种混合物。
8.如权利要求4所述的一种应用于色度检测的复合型颜色滤光片阵列,其特征在于:所述红外滤光片为由Si、SiO2材料相互叠加而成的中心波长为940nm的带通滤光片,所述带通滤光片的30Deg入射角下的角度偏移量小于20nm。
9.如权利要求1所述的一种应用于色度检测的复合型颜色滤光片阵列的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:
采用光刻胶曝光显影或者工装治具的方式,对非镀膜区域进行遮蔽,对预设区域进行镀膜,依次重复实现若干滤光片的镀膜。
10.如权利要求9所述的一种应用于色度检测的复合型颜色滤光片阵列的制造方法,其特征在于:所述采用光刻胶曝光显影或者工装治具的方式,对非镀膜区域进行遮蔽,对预设区域进行镀膜,依次重复实现若干滤光片的镀膜包括以下步骤:
在制备红色滤光片时,通过治具或光刻胶对其他区域进行掩盖;
在制备绿色滤光片时,通过治具或光刻胶对其他区域进行掩盖;
在制备绿色滤光片时,通过治具或光刻胶对其他区域进行掩盖;
在制备红外滤光片时,通过治具或光刻胶对其他区域掩进行掩盖;
在制备暗区时,通过治具或光刻胶对其他区域进行掩盖;
在制备明区时,通过治具或光刻胶对其他区域进行掩盖。
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