[发明专利]二维材料力学测磁装置及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种二维材料力学测磁装置的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将待测二维材料解离在衬底上；

将悬臂梁、所述待测二维材料以及所述衬底浸没在有机溶剂中；

在所述有机溶剂中，将所述待测二维材料与所述衬底分离，并将所述待测二维材料转移至所述悬臂梁的自由端的预设位置，使所述待测二维材料附着在所述预设位置处。

2.根据权利要求1所述的二维材料力学测磁装置的制备方法，其特征在于，将所述待测二维材料与所述衬底分离包括：采用探针将所述衬底上的所述待测二维材料挑起。

3.根据权利要求2所述的二维材料力学测磁装置的制备方法，其特征在于，采用探针将所述衬底上的所述待测二维材料挑起之后，通过所述探针支撑所述待测二维材料，移动所述悬臂梁，使所述悬臂梁的自由端的预设位置位于所述待测二维材料的下方，移动所述探针，使所述待测二维材料靠近并附着在所述预设位置处。

4.根据权利要求1所述的二维材料力学测磁装置的制备方法，其特征在于，还包括将悬臂梁固定在所述衬底上，所述悬臂梁与所述待测二维材料位于所述衬底的不同位置。

5.根据权利要求1所述的二维材料力学测磁装置的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂包括丙酮、乙醇以及异丙醇中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的二维材料力学测磁装置的制备方法，其特征在于，所述预设位置的横截面的宽度大于所述悬臂梁的自由端的其他位置的横截面的宽度。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的二维材料力学测磁装置的制备方法，其特征在于，所述悬臂梁满足以下特征中的至少一个：

(1)所述悬臂梁的厚度为200nm～3000nm；

(2)所述悬臂梁的长度为100μm～500μm；

(3)所述悬臂梁的宽度为5μm～20μm；

(4)所述悬臂梁的材料包括硅和二氧化硅中的至少一种。

8.一种二维材料力学测磁装置，其特征在于，由权利要求1～7中任一项所述的制备方法制备而成。

9.一种二维材料力学测磁方法，其特征在于，包括如下步骤：

采用权利要求8所述的二维材料力学测磁装置；

通过所述二维材料力学测磁装置的悬臂梁的本征振动频率随磁场的变化测定所述二维材料的磁性。

10.一种二维材料电学器件，其特征在于，包括电极和权利要求8所述的二维材料力学测磁装置；所述电极自所述二维材料力学测磁装置的待测二维材料引出以用于与外接电气元件电性连接。