[发明专利]一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法有效
| 申请号： | 202211351298.1 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115676773B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李洋;王瑞;常顺宇;耿延泉;赵守鑫;邵文柱;甄良;徐成彦 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江联合专利商标代理有限公司 23213 | 代理人： | 侯静 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 探针 二维 过渡 金属 硫属化物 丝素 蛋白 柔性 衬底 进行 结构 加工 方法 | ||
1.一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法，其特征在于利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法是按以下步骤进行的：
制备二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白异质结构柔性衬底，用可加热的原子力探针作为加工工具按照设定的加工轨迹和加工尺寸在二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白异质结构柔性衬底上进行可控尺寸加工，制备微纳结构；所述的可加热的原子力探针安装于原子力显微镜扫描热模块的探头上；制备微纳结构时可加热的原子力探针的加工温度为270℃~350℃；
所述的二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白异质结构柔性衬底是通过转移的方式将二维层状材料二维过渡金属硫属化物转移至丝素蛋白膜表面上的。
2.根据权利要求1所述的一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法，其特征在于制备微纳结构时可加热的原子力探针施加的垂直载荷力小于二维过渡金属硫属化物发生机械破损的临界应力。
3.根据权利要求1所述的一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法，其特征在于所述的二维过渡金属硫属化物为二维层状材料，具体为硒化钨或硫化钼。
4.根据权利要求3所述的一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法，其特征在于所述的二维过渡金属硫属化物为单层、双层或三层。
5.根据权利要求4所述的一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法，其特征在于所述的二维过渡金属硫属化物是通过机械剥离或化学气相传输法制备的。
6.根据权利要求1所述的一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法，其特征在于所述的丝素蛋白是通过旋涂丝素蛋白溶液制备的丝素蛋白膜。
7.根据权利要求6所述的一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法，其特征在于所述的丝素蛋白膜的厚度为90nm~600nm。
8.根据权利要求1所述的一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法，其特征在于所述的二维过渡金属硫属化物和丝素蛋白是通过范德华力结合在一起的。
9.根据权利要求1所述的一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法，其特征在于所述的微纳结构为纳米沟槽或纳米点阵。
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