[发明专利]一种谐振器及声学滤波器

权利要求书

1.一种谐振器，其特征在于，包括：异质衬底和设置在所述异质衬底上的电极组件；

所述异质衬底包括支撑衬底和设置在所述支撑衬底上的压电薄膜，所述支撑衬底的声速散射角小于预设散射角阈值，所述支撑衬底的弹性系数为各向异性，所述支撑衬底与所述压电薄膜之间形成异质界面；

所述压电薄膜内的目标声波存在至少一个方向上的振动分量具有声速-厚度波长比色散的特性，所述厚度波长比色散的特性为所述目标声波的声速随所述压电薄膜的厚度与声波波长的比值的减小而增大；

所述异质界面用于将所述压电薄膜内的所述目标声波的能量回弹到所述压电薄膜内部。

2.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述支撑衬底的声速散射角满足如下公式

其中，ω为角频率，ρ为密度，k为波矢，c₄₄，c₆₆为各项异性的弹性系数，θ为声速散射角。

3.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述压电薄膜的厚度与所述电极组件的周期线宽的比值在区间[0.02，0.15]内。

4.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述电极组件包括多个叉指电极，多个所述叉指电极中各叉指电极的端部设有约束组件；

所述约束组件用于增大所述叉指电极与空气间隙的声速差；所述空气间隙为所述叉指电极的端部与所述叉指电极的母线之间的间隙。

5.根据权利要求4所述的器件，其特征在于，所述约束组件与各叉指电极的端部连接；或者；

所述约束组件设置在各所述叉指电极的端部的上表面。

6.根据权利要求4所述的器件，其特征在于，所述约束组件的材料的密度大于所述叉指电极的材料的密度。

7.根据权利要求4所述的器件，其特征在于，

所述压电薄膜的材料包括铌酸锂、钽酸锂、氮化铝、氧化锌；

所述支撑衬底的材料包括硅、碳化硅、蓝宝石、金刚石、石英；

所述叉指电极的材料包括金、铂、银、铜、铝及其两种或两种以上的合金。

8.根据权利要求4所述的器件，其特征在于，所述叉指电极的厚度与所述叉指电极的周期线宽的比值在区间[0.04,0.1]内。

9.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，所述目标声波包括水平剪切波、对称准兰姆波、泄露纵波、反对称准兰姆波；

所述目标声波中各振动分量之间不相互耦合。

10.一种声学滤波器，其特征在于，所述声学滤波器包括权利要求1-9任意一项所述的谐振器。