[发明专利]一种高温气悬浮旋转机构

权利要求书

1.一种高温气悬浮旋转机构，包括安装于水平外延炉内部的下型腔盖(1)和上型腔盖(2)，所述下型腔盖(1)和所述上型腔盖(2)相匹配，其特征在于：所述下型腔盖(1)的中心底部固定贯穿安装有底座筒(5)，且所述底座筒(5)的上端安装有用于承载碳化硅晶片的托盘(3)，所述下型腔盖(1)的内部对应所述托盘(3)的外侧固定安装有若干个呈圆周等距分布的气氛增压输入管(4)，且所述气氛增压输入管(4)的底部延伸至所述下型腔盖(1)的外部，所述底座筒(5)的底部通过螺栓固定安装有密封底盖(35)；

悬浮旋转组件(6)，可在碳化硅晶片进行气相沉积反应时使所述托盘(3)进行悬浮旋转，所述悬浮旋转组件(6)安装于所述托盘(3)和所述底座筒(5)之间；

助力组件(7)，可为所述悬浮旋转组件(6)助力旋转的所述助力组件(7)安装于所述底座筒(5)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种高温气悬浮旋转机构，其特征在于：所述悬浮旋转组件(6)包括安装于所述托盘(3)下部的弧面盘(11)，且所述弧面盘(11)的上端固定安装有弧爪引流盘(12)，所述弧爪引流盘(12)弧爪的长弧侧面与所述弧面盘(11)的上端面垂直，且所述弧爪引流盘(12)弧爪靠近所述弧爪引流盘(12)中心连接处设有倾斜部(13)，所述气氛增压输入管(4)的端口朝向与所述弧面盘(11)的水平底面之间呈锐角，且所述气氛增压输入管(4)的端口上倾，若干个所述气氛增压输入管(4)的端口朝向呈交错分布，且偏向所述弧面盘(11)圆心，所述弧爪引流盘(12)的上端面通过支柱与所述托盘(3)为固定连接，所述弧面盘(11)的底部设有拽引件(9)，且所述拽引件(9)的外部设有同步件(10)。

3.根据权利要求2所述的一种高温气悬浮旋转机构，其特征在于：所述拽引件(9)包括固定安装于所述底座筒(5)顶部的限位柱(14)，且所述限位柱(14)的外部固定套接有两个挡片(15)，两个所述挡片(15)之间安装有限位套环(16)，所述限位套环(16)的内壁转动嵌有若干个呈圆周等距分布的圆球体(17)，且若干个所述圆球体(17)均与所述限位柱(14)的外表面活动贴合，所述限位套环(16)的上下端面均转动嵌有若干个呈圆周等距分布的椭圆球体(18)，且两组所述椭圆球体(18)对应与两个所述挡片(15)的上端面和下端面活动贴合，所述限位套环(16)的外部通过连杆(22)固定安装有弯环(23)，且所述弯环(23)的外表面转动套接有若干个呈圆周等距分布的齿轮(24)，所述齿轮(24)的外壁固定安装有支撑杆(25)，且所述支撑杆(25)远离所述齿轮(24)的一端固定安装有滚球(27)，所述弧面盘(11)的底部开设有若干个直槽(26)，且所述滚球(27)滑动嵌于所述直槽(26)的内部。

4.根据权利要求3所述的一种高温气悬浮旋转机构，其特征在于：所述同步件(10)包括滑动套接于所述限位套环(16)外表面的直齿套环(19)，且若干个所述齿轮(24)均与所述直齿套环(19)活动啮合，所述限位套环(16)的外壁开设有若干个滑槽(20)，所述直齿套环(19)的内壁固定安装有若干个滑块(21)，且所述滑块(21)滑动嵌于所述滑槽(20)的内部。

5.根据权利要求3所述的一种高温气悬浮旋转机构，其特征在于：所述助力组件(7)包括开设于所述底座筒(5)内部的空腔(29)，所述弧面盘(11)的底部固定安装有转轴(28)，且所述转轴(28)的下端活动嵌于所述空腔(29)的内部，所述底座筒(5)和所述限位柱(14)的内部开设与所述转轴(28)配合的容纳腔，所述转轴(28)的底部外壁通过固定片固定安装有弧形弹簧(36)，且所述弧形弹簧(36)的另一端固定安装有双头圆顶板(37)。