[发明专利]一种电子级负胶显影液配置搅拌设备

说明书

本发明涉及一种电子级负胶显影液配置搅拌设备，包括用于进行提供搅拌环境的搅拌釜，所述搅拌釜内部安装有循环机构以及用于配合所述循环机构的挤压机构，所述循环机构包括与搅拌釜转动连接的主动管，所述主动管内部设置有循环腔，挤压螺旋叶片安装在循环腔内部且叶片与所述主动管滑动配合，所述主动管上靠近顶部位置设置有进液口，所述主动管上靠近底部位置设置有出液口，所述主动管上位于所述出液口上侧安装有搅拌叶，用以解决目前在负胶显影液进行搅拌时发生碱液和水的分层且无法及时将分层混合从而混合效率低的技术问题。

技术领域

本发明涉及显影液混合搅拌领域，具体涉及一种电子级负胶显影液配置搅拌设备。

背景技术

负性光刻胶一般采用负性显影液显影，负性显影液一般为KOH，个别工厂也有使用Na2CO3，但无论哪种成份的碱液，都会含有表面活性剂。弱酸性区域的光刻胶不曝光区，仅从化学反应层来看，就是未曝光区域光刻胶与碱性显影液发生酸碱度的关系，由于负性光刻胶分子量大且具有疏水性，需要通过显影液中的界面活性剂来提高显影液的亲水性，从而使其溶解。

授权公告号为CN102743996B的中国专利公开了一种萃取混合搅拌机，所述叶片的上方设有上挡盖板，叶片的下方设有中心为流体吸入口的下盖板，所述上盖板和下盖板之间设有用于径向通过并且混合流体的混合元件，所述混合元件上设有若干个用于径向通过流体的流体通过孔，流体通过这些流体通过孔后在搅拌器内流径交错。但是在现有技术中，目前现有的在对碱液与水的分层处理中，均采用改变叶片方式打破现有的循环方式，但是对于分层明显的混合，单纯改变循环方式而无明显的溶液间的正向冲击，在溶液本体破坏效果不明显的情况下混合效果也不理想。

发明内容

本发明提供一种电子级负胶显影液配置搅拌设备，以解决目前在负胶显影液进行搅拌时发生碱液和水的分层且无法及时将分层混合从而混合效率低的技术问题。

本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备采用如下技术方案：包括用于进行提供搅拌环境的搅拌釜，所述搅拌釜内部安装有循环机构以及用于配合所述循环机构的挤压机构，所述循环机构包括与搅拌釜转动连接的主动管，所述主动管内部设置有循环腔，挤压螺旋叶片安装在循环腔内部且叶片与所述主动管滑动配合，所述主动管上靠近顶部位置设置有进液口，所述主动管上靠近底部位置设置有出液口，所述主动管上位于所述出液口上侧安装有搅拌叶；

所述主动管通过减速配合件连接所述挤压机构的底环，所述底环内壁成型有配合减速配合件的齿槽，所述底环上端对应所述出液口位置固连有切断片，两个套环设置在所述主动管上且周向旋转配合所述主动管，两个套环分别设置在所述进液口外部和所述出液口上侧，两个所述套环上均设置有四个支撑杆，且两组支撑杆之间固连有螺旋挤压杆，所述螺旋挤压杆外侧面与所述搅拌釜内壁之间均匀设置有四个三角挤压管，所述三角挤压管内部成型有挤压腔，所述三角挤压管底部设置有底部喷管，所述底部喷管上侧面成型有喷水口，且喷水口方向对应所述出液口方向。

进一步的，所述主动管的减速配合件为底部太阳轮和行星轮组，所述底部太阳轮固连在所述主动管底部，所述底部太阳轮外侧配合所述行星轮组，所述行星轮组与所述底环的齿槽啮合，通过底部太阳轮、所述行星轮组与所述底环配合，将主动管的快速旋转力转化为底环的慢速同向旋转，从而保证所述螺旋挤压杆的旋转和加压效果。

进一步的，四个所述切断片固连在所述套环和所述底环之间，且所述切断片迎水面向内设置有圆角，通过圆角处理，当切断片旋转时，能够为所述出液口提供少许压力，从而使出液口喷出的水压与切断片和水压进行冲击，提高出液口喷水的液体破碎效果。

进一步的，所述三角挤压管俯视截面为中空三角形，所述螺旋挤压杆与所述搅拌釜内壁的配合间隙为所述三角挤压管对折后的厚度，所述三角挤压管在常态下能够将外围高密度液体灌入，当受到螺旋挤压杆的顺序挤压后，通过配合挤压，将高密度液体向下传输再通过底部喷管的喷口喷出。