[发明专利]流体冷却式反射X射线源在审
| 申请号： | 202211354025.2 | 申请日： | 2022-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN116072489A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 克劳斯·弗拉切内克;布鲁斯·博尔歇斯 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司有限公司 |
| 主分类号： | H01J35/02 | 分类号： | H01J35/02;H01J35/06;H01J35/10;H01J35/12;H01J35/16 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王芳 |
| 地址： | 美国加利福尼亚州都柏林*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 流体 冷却 反射 射线 | ||
1.一种X射线源，包括：
靶；
电子束源，所述电子束源用于产生电子束，所述电子束用于撞击所述靶以产生X射线；以及
流体冷却式孔管，所述流体冷却式孔管包括在所述电子束源与所述靶之间的定心孔。
2.根据权利要求1所述的源，其中，所述孔管在所述靶的方向上具有减小的内径。
3.根据权利要求1所述的源，其中，所述孔管在聚焦支架与头体之间延伸。
4.根据权利要求1所述的源，进一步包括包围所述孔管的护套管。
5.根据权利要求4所述的源，其中，流体在所述护套管和所述孔管之间循环。
6.根据权利要求4所述的源，进一步包括在所述护套管和所述孔管之间的隔板，以引导流体的流动。
7.一种操作X射线源的方法，包括：
在X射线产生模式期间，使用飞行管束转向系统使电子束转向通过孔管以产生X射线；以及
通过控制所述飞行管束转向系统使所述束远离所述孔管的孔转向，而停用所述X射线。
8.根据权利要求7所述的方法，进一步包括对所述孔管进行流体冷却。
9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述孔管在所述靶的方向上具有减小的内径。
10.根据权利要求7所述的方法，进一步包括包围所述孔管的护套管。
11.根据权利要求10所述的方法，进一步包括使流体在所述护套管和所述孔管之间循环。
12.根据权利要求11所述的方法，进一步包括在所述护套管和所述孔管之间采用隔板，以引导所述流体。
13.一种X射线源，包括：
靶；
电子束源，所述电子束源用于产生电子束，所述电子束用于撞击所述靶；以及
流体冷却式窗，X射线通过所述流体冷却式窗离开。
14.根据权利要求13所述的源，其中，所述窗包括金刚石。
15.根据权利要求13所述的源，进一步包括头体，所述头体包括在所述头体中形成的通到所述窗的远侧的X射线端口。
16.根据权利要求13所述的源，进一步包括形成在头体中的通道。
17.根据权利要求16所述的源，其中，所述通道围绕所述窗的周界延伸。
18.根据权利要求16所述的源，进一步包括形成在所述头体中的输入通道和输出通道，所述输入通道和所述输出通道用于使流体流过所述通道。
19.根据权利要求13所述的源，其中，所述流体是水。
20.一种X射线源，包括：
靶；
电子束源，所述电子束源用于产生电子束，所述电子束用于撞击所述靶；以及
金刚石窗，X射线通过所述金刚石窗离开。
21.一种X射线源，包括：
靶；
电子束源，所述电子束源用于产生电子束，所述电子束用于撞击所述靶；以及
散射电子检测器，所述散射电子检测器用于检测从所述靶散射的电子。
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