[发明专利]一种用于循环蒸发器的晶浆智能出料装置

权利要求书

1.一种用于循环蒸发器的晶浆智能出料装置，其特征在于：包括管道(1)，所述管道(1)的内部转动连接有第一转杆(2)，所述第一转杆(2)的内侧壁转动连接有多块防堵板(3)，所述防堵板(3)的外表面均固定连接有固定架(4)，所述固定架(4)的内部滑动连接有钢丝(5)，所述钢丝(5)的圆周面固定连接有多个固定扣(6)，所述第一转杆(2)的内部固定连接有第一挡板(9)，所述管道(1)的内部设置有空腔(7)，所述第一转杆(2)的内部固定连接有进气管(8)，所述管道(1)的外侧壁固定连接有进气阀(28)，且进气阀(28)和进气管(8)均延伸至空腔(7)的内部，所述第一挡板(9)的上表面转动连接有收卷杆(20)，且收卷杆(20)的圆周面和钢丝(5)的一端固定连接，所述第一挡板(9)的上表面固定连接有传动机构，所述收卷杆(20)通过传动机构驱动。

2.根据权利要求1的一种用于循环蒸发器的晶浆智能出料装置，其特征在于：所述传动机构包括固定连接在第一转杆(2)内侧壁的多个套管(10)和转动连接在第一转杆(2)内侧壁的多个第二转杆(17)，所述套管(10)的内部滑动连接有活动杆(12)，所述活动杆(12)的一端固定连接有齿条(13)，所述第二转杆(17)的圆周面固定连接有第一齿轮(18)和第一锥齿轮(19)，且第一齿轮(18)和齿条(13)相互啮合，所述收卷杆(20)的圆周面固定连接有第二锥齿轮(21)，且第二锥齿轮(21)和第一锥齿轮(19)相互啮合。

3.根据权利要求2的一种用于循环蒸发器的晶浆智能出料装置，其特征在于：所述套管(10)的内部固定连接有固定环(11)，所述活动杆(12)的下表面固定连接有活塞(14)，所述活塞(14)的位于固定环(11)的内部，所述活动杆(12)和套管(10)内上表面之间固定连接有弹簧(15)，所述套管(10)的下表面远离第一挡板(9)的上表面。

4.根据权利要求1的一种用于循环蒸发器的晶浆智能出料装置，其特征在于：所述活动杆(12)的形状设置为T型，所述活动杆(12)的外径小于套管(10)的内径，所述套管(10)的外侧壁固定连接有出气管(16)，且出气管(16)位于固定环(11)的上方，所述出气管(16)贯穿第一转杆(2)的内部。

5.根据权利要求1的一种用于循环蒸发器的晶浆智能出料装置，其特征在于：所述空腔(7)的形状为凸型，所述进气管(8)和空腔(7)的内部滑动连接，所述第一转杆(2)的外侧壁和空腔(7)的一端相贴合。

6.根据权利要求1的一种用于循环蒸发器的晶浆智能出料装置，其特征在于：所述第一转杆(2)的内下表面固定连接有齿圈(22)，所述第一转杆(2)的内下表面固定连接有第二齿轮(23)，且第二齿轮(23)和齿圈(22)相互啮合，所述管道(1)的下表面固定连接有电机(24)，所述电机(24)的输出端和第二齿轮(23)的一端固定连接。

7.根据权利要求1的一种用于循环蒸发器的晶浆智能出料装置，其特征在于：所述第一转杆(2)的内部固定连接有多块第二挡板(29)，所述第二挡板(29)均位于防堵板(3)的背面，且与防堵板(3)背面的尺寸相匹配。

8.根据权利要求1的一种用于循环蒸发器的晶浆智能出料装置，其特征在于：所述固定架(4)的形状设置为L型，所述固定架(4)的内部设置有滑槽，所述固定扣(6)位于滑槽的底端，且固定扣(6)的尺寸大于滑槽的尺寸。

9.根据权利要求1的一种用于循环蒸发器的晶浆智能出料装置，其特征在于：所述管道(1)的上表面固定连接有进料阀(25)，所述管道(1)的下表面固定连接有流量阀(26)和控制器(27)，所述控制器(27)均与流量阀(26)、电机(24)和进气阀(28)电性连接。