[发明专利]从含有氯硅烷的渣浆中分离硅粉的方法、系统及其用途在审
申请号: | 202211370069.4 | 申请日: | 2022-11-03 |
公开(公告)号: | CN115557507A | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 周复礼;田新;蒋文武;李明峰;王海豹;赵春梅 | 申请(专利权)人: | 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107;C01B33/037 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 季永杰 |
地址: | 221004 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 含有 硅烷 渣浆中 分离 方法 系统 及其 用途 | ||
1.一种从含有氯硅烷的渣浆中分离硅粉的方法,其特征在于,包括:
(1)对含有氯硅烷的渣浆进行静置分层处理,得到固相浆料和上清液;
(2)对所述固相浆料进行破碎处理,得到浆料颗粒;
(3)利用流化干燥装置对所述浆料颗粒进行加热处理,以便得到干燥硅粉和氯硅烷气体,
其中,步骤(3)中,所述流化干燥装置包括外筒体和穿设在所述外筒体中的内筒体,所述外筒体与所述内筒体之间形成有密闭的环形腔,所述内筒体上位于所述环形腔内的筒壁上设有微孔,所述微孔孔径不大于0.5μm,所述外筒体上设有气体出口;所述加热处理包括:将所述浆料颗粒供给至所述内筒体中,同时向所述内筒体中通入流化热风,使氯硅烷挥发并通过所述气体出口排出。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,满足以下条件中的至少之一:
步骤(1)中,所述渣浆中的固含量为1~8wt%;
步骤(1)中,所述静置分层处理的时间为0.5~3h;
步骤(1)中,所述固相浆料中的湿含量为10~40wt%;
步骤(2)中,所述浆料颗粒粒径不大于1mm。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤(3)满足以下条件中的至少之一:
所述流化热风采用氮气和/或惰性气体;
所述流化干燥装置还包括:流化风管和流化喷嘴,所述流化喷嘴设在所述内筒体上,所述流化风管设在所述外筒体外并穿过所述外筒体与所述流化喷嘴相连;
所述流化干燥装置还包括:发热件,所述发热件设在所述环形腔内;
所述内筒体的进料端和出料端上下布置;
所述加热处理的温度为200~250℃,所述加热处理的时间不小于100s;
所述流化热风的流速为0.02~0.05m/s;
所述环形腔内的压力为0.1~0.5MPa,所述环形腔内的压力不高于所述内筒体内的压力;
所述外筒体的长度为4~18m,所述内筒体的长度不小于所述外筒体的长度;
所述内筒体的长径比为(100~150):1,所述外筒体的长径比为(100~150):5;
对加热处理得到的气固混合物进行气固分离,得到所述干燥硅粉;
将加热处理得到的气固混合物排出内筒体时,停止供给所述流化热风;
所述干燥硅粉的粒径为0.5~30μm。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,步骤(3)满足下述条件中的至少之一:
所述流化干燥装置包括多个所述流化喷嘴,至少部分所述流化喷嘴沿所述内筒体的长度方向间隔布置;
所述发热件设在所述外筒体的内壁上或邻近所述外筒体的内壁设置,所述流化风管缠绕于所述外筒体上并沿所述外筒体的长度方向延伸;
所述内筒体竖直布置,所述流化喷嘴的喷气方向与竖直向下方向的夹角为钝角;
所述流化干燥装置包括至少8个所述流化喷嘴;
所述内筒体包括多个首尾连通的子筒体,相邻两个所述子筒体密封相连;
所述发热件沿所述环形腔的长度方向布置;
所述内筒体的透气率不小于20m3/m2·h。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述子筒体满足以下条件中的至少之一:
所述子筒体的个数为8~12个,单个所述子筒体的长度为0.6~1.5m;
相邻两个所述子筒体通过膨胀节密封相连;
每个所述子筒体上设有至少一个所述流化喷嘴,且每个所述子筒体上至少有一个所述流化喷嘴靠近出料端设置。
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