[发明专利]一种基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备

权利要求书

1.一种基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，其特征在于，包括：

底座；

真空腔室，其支撑于所述底座上，具有可启闭装配的室门；所述真空腔室内具有转架以及设置于所述转架上用于定位待镀的燃料电池双极板的夹具；

离子束清洗源，其设置于所述真空腔室上，用于发射离子束起弧辉光放电对清洁燃料电池双极板的待镀面进行清洁及改性；以及

碳基薄膜磁控溅射源，其设置于所述真空腔室上，用于产生电磁场结合镀膜工艺气体产生辉光，并轰击附着于燃料电池双极板表面形成膜层。

2.如权利要求1所述的基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，其特征在于，还包括抽气装置，所述抽气装置包括机械泵组、分子泵、主管道A组和主管道B组，所述机械泵组安装于所述底座上，所述主管道A组一端连通于所述机械泵组输入端，另一端连通于所述真空腔室内部，所述主管道B组一端连通于所述主管道A组，另一端通过角阀与所述分子泵相输入端连通。

3.如权利要求1所述的基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，其特征在于，还包括用于预加热所述真空腔室内燃料电池双极板的加热装置，所述加热装置包括设置于所述真空腔室内的多个加热棒和温度传感器。

4.如权利要求3所述的基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，其特征在于，多个所述加热棒均固定于所述真空腔室内侧壁上，且多个所述加热棒沿所述转架的周向间隔分布；所述加热棒呈弧形立状间隔均匀布置。

5.如权利要求1所述的基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，其特征在于，还包括进气系统装置，所述进气系统装置设置于所述底座上，用于注入镀膜工艺气体至所述真空腔室。

6.如权利要求1所述的基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，其特征在于，还包括冷却装置，所述冷却装置设置于所述底座上，用于对真空腔室进行冷却的冷却装置。

7.如权利要求6所述的基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，其特征在于，所述冷却装置包括真空腔室内侧壁上设置的冷却腔道和设置于所述真空腔室外部的冷水机组，所述冷水机组与冷却腔道之间形成闭合循环回路。

8.如权利要求1所述的基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，其特征在于，还包括驱动装置，所述驱动装置设置于所述真空腔室内侧的顶部，用于调节所述转架进行转动。

9.如权利要求1所述的基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，其特征在于，所述转架上具有载盘，所述夹具设置于所述载盘顶部，所述夹具包括呈喇叭状的硬质吸盘、牵引组件、自锁组件以及解锁组件，所述硬质吸盘固定于所述载盘顶部，所述硬质吸盘离心侧用于吸引固定住所述燃料电池双极板的非镀面，所述硬质吸盘靠近其向心侧的内部具有连通其离心侧的塞槽，所述塞槽内弹性设置有与其配合的活塞，所述牵引组件支撑于所述载盘上，用于牵引所述活塞在所述塞槽中向心运动，所述自锁组件受驱动于所述牵引组件，用于对向心运动后的所述活塞的所在位置进行自锁固定。

10.如权利要求9所述的基于PEMFC燃料电池金属双极板碳基薄膜镀膜设备，其特征在于，所述夹具还包括解锁组件，所述解锁组件用于解除所述活塞经所述自锁组件作用后的锁定状态。