[发明专利]一种线扫描Micro LED光强检测光学模组

说明书

本发明涉及光学检测技术领域，具体涉及一种线扫描Micro LED光强检测光学模组，包括LED光源、均光镜组、第一透镜组、分光镜组、MicroLED晶片、第二透镜组、CCD镜组和CCD传感器，LED光源依次经过均光镜组、第一透镜组、分光镜组、MicroLED晶片、第二透镜组、CCD镜组和CCD传感器。本发明克服了现有技术的不足，通过设置均光镜组，均光镜组将光源调整为平行均匀光斑，相较于直接将光源照射至MicroLED晶片检测可有效保障光源输出的均匀性，使得CCD传感器可较为完全的接收到光线，减少光强检测的误差，并且该模组设置有分光镜组和第二透镜组，分光镜组与第二透镜组配合使用将入射角调整至与CCD镜组相同，可有效避免入射角发生偏移CCD传感器未完全检测。

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，具体为一种线扫描Micro LED光强检测光学模组。

背景技术

应用CCD可直接测量单缝衍射的光强分布，并可在数显示波器中直接显示光强分布曲线的全貌，从而精确测量单缝宽度，Micro LED光强检测过程中通过透镜将光线传导至CCD光强传感器中，此为如今实验室光强检测的常用方法之一。

可参考市面上的正在售卖的CCD光强分布测量仪，进行光强检测时时以CCD光强分布测量仪为基础设备添加透镜进行Micro LED晶片的光强检测，检测过程中通过LED光源照射至Micro LED晶片，再检测Micro LED晶片发出的光线强度，此种直接输入LED光源的方式容易受到外部环境导致光源较为分散，进而使得Micro LED晶片受到的光源不均匀，增加光强检测的误差，并且Micro LED晶片发出的光线若与CCD镜组入光角不一致，使得CCD传感器很难完全接收到Micro LED晶片的检测光线，因此需要一种可将输入光源均匀输入且输出光源与CCD镜组入光角一致的Micro LED光强检测光学模组。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种线扫描Micro LED光强检测光学模组，旨在解决现有技术中，直接输入LED光源的方式容易受到外部环境导致光源较为分散以及Micro LED晶片发出的光线若与CCD镜组入光角不一致，使得CCD传感器很难完全接收到Micro LED晶片的检测光线的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：

LED光源、均光镜组、第一透镜组、分光镜组、Micro LED晶片、第二透镜组、CCD镜组和CCD传感器，所述LED光源依次经过均光镜组、第一透镜组、分光镜组、Micro LED晶片、第二透镜组、CCD镜组和CCD传感器。

优选的，所述均光镜组将光线折射为高均匀光线。

优选的，所述第一透镜组将光线折射为平行小角度高均匀光斑。

优选的，所述分光镜组将光线折射为垂直方向至Micro LED晶片。

优选的，所述Micro LED晶片将光线反射至分光镜组。

优选的，所述分光镜组将Micro LED晶片的反射光线传导至第二透镜组。

优选的，所述第二透镜组将光线调整为与CCD镜组同一水平线。

优选的，所述CCD镜组将光线送入至CCD传感器。

本发明实施例提供了一种线扫描Micro LED光强检测光学模组，具备以下有益效果：

1、通过设置均光镜组，均光镜组将光源调整为平行均匀光斑，相较于直接将光源照射至Micro LED晶片检测可有效保障光源输出的均匀性，使得Micro LED晶片接收的LED光源更为均匀，减少光强检测的误差。