[发明专利]一种具有二次光电响应的红外光电探测器在审
申请号: | 202211385779.4 | 申请日: | 2022-11-07 |
公开(公告)号: | CN115513331A | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 陈小青;甘雪涛 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | H01L31/109 | 分类号: | H01L31/109;H01L31/032;H01L31/0224 |
代理公司: | 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 | 代理人: | 周芸婵 |
地址: | 710068 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 二次 光电 响应 红外 探测器 | ||
1.一种具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,包括绝缘衬底(1)、金电极(2)、银电极(3)、n型InSe半导体(4)和p型GaSe半导体(5);
所述n型InSe半导体(4)和p型GaSe半导体(5)之间接触,所述接触部分形成PN结并位于金电极(2)上方。所述p型GaSe半导体(5)与金电极(2)接触,所述银电极(3)与n型InSe半导体(4)接触,所述金电极(2)加负电压,所述银电极(3)加正电压;
所述p型GaSe半导体(5)和n型InSe半导体(4)的晶体类型为具有二阶非线性的ε类型,且在脉冲光的照射下产生二次谐波,并将小于p型GaSe半导体(5)和n型InSe半导体(4)带隙的红外光光子转化为可以为n型InSe半导体(4)吸收的光子,所述光子为PN结接收并转化为光电流。
2.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述p型GaSe半导体(5)的厚度范围为[50nm,100nm]。
3.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述n型InSe半导体(4)的厚度范围为[50nm,200nm]。
4.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述金电极(2)厚度范围为[25nm,50nm]。
5.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述银电极(3)的厚度范围为[30nm,100nm]。
6.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,位于金电极(2)上方的p型GaSe半导体(5)和n型InSe半导体(4)之间所形成的所述异质结区域的面积不小于5μm×5μm。
7.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述银电极(3)与金电极(2)之间的距离范围为[1μm,5μm]。
8.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述绝缘衬底(1)为由蓝宝石、二氧化硅、氮化硅或氧化铝制作的绝缘衬底。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西北工业大学,未经西北工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202211385779.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的