[发明专利]一种具有二次光电响应的红外光电探测器在审

专利信息
申请号: 202211385779.4 申请日: 2022-11-07
公开(公告)号: CN115513331A 公开(公告)日: 2022-12-23
发明(设计)人: 陈小青;甘雪涛 申请(专利权)人: 西北工业大学
主分类号: H01L31/109 分类号: H01L31/109;H01L31/032;H01L31/0224
代理公司: 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 代理人: 周芸婵
地址: 710068 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 二次 光电 响应 红外 探测器
【权利要求书】:

1.一种具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,包括绝缘衬底(1)、金电极(2)、银电极(3)、n型InSe半导体(4)和p型GaSe半导体(5);

所述n型InSe半导体(4)和p型GaSe半导体(5)之间接触,所述接触部分形成PN结并位于金电极(2)上方。所述p型GaSe半导体(5)与金电极(2)接触,所述银电极(3)与n型InSe半导体(4)接触,所述金电极(2)加负电压,所述银电极(3)加正电压;

所述p型GaSe半导体(5)和n型InSe半导体(4)的晶体类型为具有二阶非线性的ε类型,且在脉冲光的照射下产生二次谐波,并将小于p型GaSe半导体(5)和n型InSe半导体(4)带隙的红外光光子转化为可以为n型InSe半导体(4)吸收的光子,所述光子为PN结接收并转化为光电流。

2.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述p型GaSe半导体(5)的厚度范围为[50nm,100nm]。

3.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述n型InSe半导体(4)的厚度范围为[50nm,200nm]。

4.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述金电极(2)厚度范围为[25nm,50nm]。

5.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述银电极(3)的厚度范围为[30nm,100nm]。

6.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,位于金电极(2)上方的p型GaSe半导体(5)和n型InSe半导体(4)之间所形成的所述异质结区域的面积不小于5μm×5μm。

7.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述银电极(3)与金电极(2)之间的距离范围为[1μm,5μm]。

8.根据权利要求1所述的具有二次光电响应的红外光电探测器,其特征在于,所述绝缘衬底(1)为由蓝宝石、二氧化硅、氮化硅或氧化铝制作的绝缘衬底。

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