[发明专利]一种适用于太阳能硅片的涂膜设备

权利要求书

1.一种适用于太阳能硅片的涂膜设备，其特征在于，包括至少一个硅片载台、至少一个掩膜载台、基础平台以及至少一个调平定位组件；

所述掩膜载台固设在基础平台上，并形成硅片涂布工作区域；

所述硅片载台通过调平定位组件可调节的安置在基础平台上，并位于所述掩膜载台形成的硅片涂布工作区域内；

所述调平定位组件能够调节硅片载台的水平状态以及相对于所述掩膜载台的高度。

2.根据权利要求1所述的涂膜设备，其特征在于，所述调平定位组件包括若干Z轴微调件，支撑台，驱动块以及驱动件，所述若干Z轴微调件分别设置所述支撑台上，并配合对所述硅片载台形成水平支撑；所述驱动块相对于所述支撑台可移动设置，并能够对所述支撑台形成Z轴方向驱动；所述驱动件对应于所述驱动块设置，并能够驱动所述驱动块沿第一方向移动，所述驱动块沿第一方向移动过程中同步驱动所述支撑台沿Z轴方向移动。

3.根据权利要求2所述的涂膜设备，其特征在于，所述若干Z轴微调件中，每个Z轴微调件能够沿Z轴方向调整长度。

4.根据权利要求1所述的涂膜设备，其特征在于，所述调平定位组件为XYZR四轴可调的调平定位组件。

5.根据权利要求4所述的涂膜设备，其特征在于，所述调平定位组件包括支撑台、若干水平微调组件、X轴微调组件、Y轴微调组件、微调旋转组件以及Z轴驱动组件；

所述若干水平微调组件分别设置所述支撑台上，并配合对所述硅片载台形成水平支撑，能够根据控制指令调节所述硅片载台相对于所述掩膜载台的水平状态；

所述X轴微调组件对所述支撑台形成X轴方向驱动，能够根据控制指令驱动所述支撑台沿X轴方向移动；

所述Y轴微调组件对所述支撑台形成Y轴方向驱动，能够根据控制指令驱动所述支撑台沿Y轴方向移动；

所述微调旋转组件对所述支撑台形成旋转驱动，能够根据控制指令驱动所述支撑台在水平方向转动；

所述Z轴驱动组件对所述支撑台形成Z轴方向驱动，能够根据控制指令驱动所述支撑台沿Z轴方向移动。

6.根据权利要求5所述的涂膜设备，其特征在于，所述水平微调组件由压电直线微调电机。

7.根据权利要求1所述的涂膜设备，其特征在于，所述硅片载台上形成若干的真空吸附孔。

8.根据权利要求1所述的涂膜设备，其特征在于所述掩膜载台上形成若干的真空吸附孔。

9.根据权利要求1所述的涂膜设备，其特征在于所述涂膜设备中由每个掩膜载台分别承载一个独立的掩膜，或者由若干掩膜载台相互配合，承载呈带状分布的掩膜带。

10.根据权利要求1所述的涂膜设备，其特征在于所述掩膜带能够由驱动组件驱动与若干掩膜载台形成循环配合。