[发明专利]一种射频功率检测器芯片版图结构及射频功率检测器芯片在审
申请号: | 202211396295.X | 申请日: | 2022-11-09 |
公开(公告)号: | CN115621278A | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 王守云;刘类骥;王凯雷;赵梓涵;耿新林;刘林 | 申请(专利权)人: | 成都天奥电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L23/60 |
代理公司: | 成都华飞知识产权代理事务所(普通合伙) 51281 | 代理人: | 徐鸿 |
地址: | 610037 四川省成都市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 射频 功率 检测器 芯片 版图 结构 | ||
1.一种射频功率检测器芯片版图结构,其特征在于,包括从左至右依次设置的第一版图区域、第二版图区域以及第三版图区域;
所述第一版图区域呈L型并形成有第一嵌入槽,所述第三版图区域呈凹字型并形成有第二嵌入槽,所述第二版图区域的左右两侧分别嵌入第一嵌入槽和第二嵌入槽。
2.根据权利要求1所述的射频功率检测器芯片版图结构,其特征在于,所述第一版图区域、第二版图区域以及第三版图区域构成的版图结构呈矩形结构,所述版图结构中设置有多晶层以及多层金属层;
所述第一版图区域与第二版图区域之间、所述第二版图区域与第三版图区域之间均通过金属层相连。
3.根据权利要求2所述的射频功率检测器芯片版图结构,其特征在于,所述第一版图区域包括由多晶层和多层金属层构成的输入输出模块以及多个防静电模块,输入输出模块设置于远离第二版图区域的一侧,多个所述防静电模块设置于靠近第二版图区域的一侧;
所述第二版图区域包括由多晶层和多层金属层构成的射频功率检测器模块,所述第三版图区域包括由多层金属层构成的信号输入模块。
4.根据权利要求3所述的射频功率检测器芯片版图结构,其特征在于,所述输入输出模块包括多个第一焊盘,多个所述第一焊盘依次设置于远离第二版图区域的一侧,且构成所述第一焊盘的金属层大于两层。
5.根据权利要求4所述的射频功率检测器芯片版图结构,其特征在于,所述信号输入模块包括射频信号输入模块,所述射频信号输入模块包括第二焊盘和输入串联电容,所述第二焊盘和输入串联电容依次设置于第三版图区域上方;
构成所述第二焊盘的金属层小于或等于两层,所述第二焊盘的面积为第一焊盘面积的80%以下。
6.根据权利要求5所述的射频功率检测器芯片版图结构,其特征在于,所述信号输入模块还包括偏置电压输入模块,所述偏置电压输入模块包括输入串联电阻和第三焊盘,所述输入串联电阻和第三焊盘依次设置于第三版图区域下方,所述第三焊盘的结构与第一焊盘的结构相同。
7.根据权利要求3所述的射频功率检测器芯片版图结构,其特征在于,所述射频功率检测器模块包括电流叠加模块、分压模块、滤波模块以及多个功率转电流模块,所述分压模块以及滤波模块位于第二版图区域左下方区域的左上角,所述电流叠加模块紧邻分压模块设置且靠近第三版图区域。
8.根据权利要求7所述的射频功率检测器芯片版图结构,其特征在于,所述功率转电流模块由多个功率转电流子模块构成,所述功率转电流子模块由MOS管和RC滤波器构成。
9.根据权利要求7所述的射频功率检测器芯片版图结构,其特征在于,所述电流叠加模块由多个MOS管并联后与电阻串联构成,所述滤波模块由平板电容构成,所述分压模块包括多个电阻。
10.一种射频功率检测器芯片,其特征在于,采用如权利要求1-9任一项所述的射频功率检测器芯片版图结构制作而成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的