[发明专利]一种靶材托及镀膜设备

权利要求书

1.一种靶材托，其特征在于，包括：可旋转的靶材托本体，所述靶材托本体的第一表面上沿圆周分布有多个安装位，所述安装位包括：盲板位和安装靶材的靶材位。

2.根据权利要求1所述的靶材托，其特征在于，所述安装位设于安装面上，各个安装面均与所述第一表面之间存在固定夹角，所有安装面围成封闭侧面。

3.根据权利要求2所述的靶材托，其特征在于，所述安装面由圆弧边、两个相对的侧边及与所述圆弧边相对的顶边构成，相邻安装面的侧边重合围成封闭侧面，相邻安装面的顶边相连形成上底面，相邻安装面的圆弧边相连并通过过渡侧面与所述第一表面封闭连接。

4.根据权利要求2所述的靶材托，其特征在于，所述靶材位为圆形，所述靶材位内凹或者外凸于所述靶材面，所述靶材位的侧面设有螺纹。

5.根据权利要求2所述的靶材托，其特征在于，所述靶材位上设有内凹或者外凸于靶材面的外框。

6.根据权利要求1-5任一项所述的靶材托，其特征在于，所述第一表面的背面设有连杆，所述连杆上套设有旋转盘，所述旋转盘上设有刻度。

7.根据权利要求6所述的靶材托，其特征在于，所述盲板位上安装有溅射筒，所述溅射筒上设有供离子束入射的窗口。

8.一种镀膜设备，其特征在于，包括：工作腔，设于所述工作腔内的离子枪和如权利要求1-7任意一项所述的靶材托。

9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述靶材托与所述离子枪垂直设置。

10.根据权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，所述离子枪包括：腔体，所述腔体上设有相互垂直的枪口和中空连杆，所述工作腔上设有通孔，所述连杆穿过所述通孔与外部工作气体提供设备连接。