[发明专利]一种非理想椭偏系统的校准方法

权利要求书

1.一种非理想椭偏系统的校准方法，其特征在于，包括：

获取标准样件在测量系统的实测光强信息并进行归一化，得到标准样件的实测归一化光强信息；

根据标准样件的实测归一化光强信息和理论归一化光强信息，拟合迭代出测量系统的系统参数，所述系统参数包括检偏复合波片的相位延迟量、检偏复合波片的方位角、起偏复合波片的相位延迟量、起偏复合波片的方位角、检偏片的方位角以及起偏片的方位角，和新增的检偏复合波片的相位延迟量的三角函数相位以及振幅、检偏复合波片的方位角的三角函数相位以及振幅、起偏复合波片的相位延迟量的三角函数相位以及振幅、起偏复合波片的方位角的三角函数相位以及振幅、检偏片的方位角的三角函数相位以及振幅以及起偏片的方位角的三角函数相位以及振幅；

获取待测样件的实测光强信息并进行归一化，得到待测样件的实测归一化光强信息；

根据拟合迭代出的所述测量系统的系统参数，基于待测样件的实测归一化光强信息和理论归一化光强信息，拟合迭代出待测样件参数。

2.根据权利要求1所述的非理想椭偏系统的校准方法，其特征在于，所述获取标准样件在测量系统的实测光强信息并进行归一化，得到标准样件的实测归一化光强信息，包括：

获取标准样件设定时间段内多个不同时刻t1、t2、t3、...、t_n在测量系统中的实测光强信息，得到标准样件在设定时间段内的实测光强信息序列；

对标准样件在设定时间段内的实测光强信息序列进行归一化，得到标准样件的实测归一化光强信息。

3.根据权利要求2所述的非理想椭偏系统的校准方法，其特征在于，所述根据标准样件的实测归一化光强信息和理论归一化光强信息，拟合迭代出测量系统的系统参数，包括：

构建测量系统的系统模型：

S_out＝[M_AR(A+ρ₂+A_A0sin(2ω₂+φ_A0))]×[R(-ω₂t-C₂-θ₂-A_C20sin(2ω+φ_C20))M(δ₂+A_δ20sin(2ω₂+φ_δ20))R(ω₂t+C₂+θ₂+A_C20sin(2ω₂+φ_C20)]×Ms×[R(-ω₁t-C₁-θ₁+ρ₁-A_C10sin(2ω₁+φ_C10))M(δ₁+A_δ10sin(2ω₁+φ_δ10))R(ω₁t+C₁+θ₁-ρ₁+A_C10sin(2ω₁+φ_C10))]×[R(-P+ρ₁-A_P0sin(2ω₁+φ_P0))M_P]×S_in (4)；

其中，M_s为样品穆勒矩阵,M_P、M_A为起偏臂以及检偏臂的偏振片穆勒矩阵，ρ₁、ρ₂为起偏复合波片1与检偏复合波片2的旋光角，θ₁、θ₂为起偏复合波片1与检偏复合波片2的光轴方位角，ω₁、ω₂为电机1与电机2的转速，M(δ₁)以及M(δ₂)为起偏复合波片和检偏复合波片的相位延迟量穆勒矩阵，R为旋转矩阵，P、A、C₁、C₂为起偏片、检偏片、起偏复合波片以及检偏复合波片的初始方位角，t为时间，S_in为归一化自然光的Stokes向量，A_A0、φ_A0、A_C20、φ_C20、A_δ20、φ_δ20、A_C10、φ_C10、A_δ10、φ_δ10以及A_P0、φ_P0为测量系统的系统参数，其中，A_A0与φ_A0为检偏片的方位角的三角函数的振幅和相位，A_C20与φ_C20为检偏复合波片的方位角的三角函数的振幅和相位，A_δ20与φ_δ20为检偏复合波片的相位延迟量的三角函数的振幅和相位，A_C10与φ_C10为起偏复合波片的方位角的三角函数的振幅和相位，A_δ10与φ_δ10为起偏复合波片的相位延迟量的三角函数的振幅和相位，A_P0与φ_P0为起偏片的方位角的三角函数的振幅和相位；

确定初始系统参数，根据公式(4)，求解出对应的理论归一化光强信息，并计算求解出的理论归一化光强信息与标准样件的实测归一化光强信息之间的评价值；

通过不断调整系统参数，基于公式(4)求解出对应的理论归一化光强信息，直到求解出的理论归一化光强信息与标准样件的实测归一化光强信息之间的评价值满足条件，获取测量系统的系统参数。