[发明专利]一种离子枪的保护开关在审
申请号: | 202211406971.7 | 申请日: | 2022-11-10 |
公开(公告)号: | CN115662864A | 公开(公告)日: | 2023-01-31 |
发明(设计)人: | 欧阳华;欧阳晟;曹锋;陈炀 | 申请(专利权)人: | 广州晶优电子科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/08 | 分类号: | H01J37/08;H01J37/147;H01J37/20;H01L21/67 |
代理公司: | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人: | 郑永泉 |
地址: | 510663 广东省广州市高*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 离子 保护 开关 | ||
1.一种离子枪的保护开关,所述保护开关安装于离子枪的发射口上,其特征在于,
沿发射口外侧设有导流板和底板,导流板中部设有若干分流通道,设有对应分流通道的反应开关,导流板和底板包饶于发射口的外侧,用于实现对发射口上离子波的集中发射;发射通孔直径小于分流通道的直径。
2.根据权利要求1所述的一种离子枪的保护开关,其特征在于,沿发射口内侧设有保护圈,保护圈与发射口内侧具有间隙。
3.根据权利要求2所述的一种离子枪的保护开关,其特征在于,保护圈包括开口,开口的上方设置有所述导流板,和/或,所述导流板上方设有基板,基板设有若干发射通孔,反应开关设于发射通孔的上方。
4.根据权利要求3所述的一种离子枪的保护开关,其特征在于,反应开关为移动挡板或翻转挡板。
5.根据权利要求1所述的一种离子枪的保护开关,其特征在于,反应开关包括翻转门和转动轴,转动轴设置于相邻的两行或两列的分流通道之间,翻转门转动连接转动轴。
6.根据权利要求1所述的一种离子枪的保护开关,其特征在于,底板设有发射开口,所述发射开口内侧包饶发射口的外侧,导流板的长度和宽度均大于所述发射开口。
7.根据权利要求1-6任一项所述的一种离子枪的保护开关,其特征在于,所述底板和导流板的材质为石墨。
8.根据权利要求1-6任一项所述的一种离子枪的保护开关,其特征在于,沿底板宽度方向设有若干列的发射通孔,两列不重复的发射通孔形成一组发射通孔。
9.根据权利要求8所述的一种离子枪的保护开关,其特征在于,每列的发射通孔均设有一个反应开关。
10.根据权利要求9所述的一种离子枪的保护开关,其特征在于,设有控制系统,控制系统连接反应开关,以使每个反应开关独立控制一组反应通孔中的一列发射通孔的打开或关闭。
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