[发明专利]具有包括开口和穿玻璃过孔的玻璃芯的中介层

权利要求书

1.一种装置，包括：

玻璃芯，具有第一侧和与所述第一侧相反的第二侧；

开口，在所述玻璃芯中，所述开口从所述第一侧延伸到所述第二侧；以及

一个或多个穿玻璃过孔(TGV)，靠近所述开口，所述一个或多个TGV从所述玻璃芯的所述第一侧延伸到所述第二侧，其中，所述一个或多个TGV包括导电材料，所述导电材料将所述玻璃芯的所述第一侧与所述玻璃芯的所述第二侧电耦合。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述导电材料包括铜。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述一个或多个TGV填充有导电材料。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述一个或多个TGV中的一个TGV的直径小于25μm，并且其中，所述一个或多个TGV的间距小于50μm。

5.根据权利要求1所述的装置，还包括具有第一侧和与所述第一侧相反的第二侧的管芯，所述管芯设置在所述玻璃芯的所述开口内。

6.根据权利要求5所述的装置，其中，垂直于所述第一管芯的所述第一侧的、所述第一管芯的所述第一侧与所述第二侧之间的第一距离与垂直于所述玻璃芯的所述第一侧的、所述玻璃芯的所述第一侧与所述第二侧之间的第二距离基本相同。

7.根据权利要求5所述的装置，其中，所述管芯的热膨胀系数(CTE)的值与所述玻璃芯的CTE的值是基本相同的值。

8.根据权利要求5所述的装置，其中，所述玻璃芯的所述第一侧和所述管芯的所述第一侧在衬底上。

9.根据权利要求5所述的装置，其中，所述管芯是多个管芯。

10.根据权利要求1所述的装置，其中，所述开口是多个开口。

11.根据权利要求1所述的装置，其中，所述开口由所述玻璃芯围绕。

12.根据权利要求1所述的装置，其中，所述开口位于所述玻璃芯的边缘处。

13.一种方法，包括：

识别具有第一侧和与所述第一侧相反的第二侧的玻璃芯；

在所述玻璃芯中形成开口，所述开口从所述玻璃芯的所述第一侧延伸到所述玻璃芯的所述第二侧；

在所述玻璃芯中形成一个或多个穿玻璃过孔(TGV)，所述一个或多个TGV从所述玻璃芯的所述第一侧延伸到所述第二侧；以及

将导电材料插入到所述一个或多个TGV中，其中，所述玻璃芯的所述第一侧与所述玻璃芯的所述第二侧电耦合。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述导电材料包括铜。

15.根据权利要求13所述的方法，其中，所述一个或多个TGV中的一个TGV的直径小于25μm，并且其中，所述一个或多个TGV的间距小于50μm。

16.根据权利要求13所述的方法，还包括将具有第一侧和与所述第一侧相反的第二侧的管芯插入到所述玻璃芯的所述开口中，其中，所述管芯的所述第一侧靠近所述玻璃芯的所述第一侧，并且所述管芯的所述第二侧靠近所述玻璃芯的所述第二侧。

17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述管芯的厚度近似于所述玻璃芯的厚度。

18.根据权利要求16所述的方法，还包括：

将所述玻璃芯的所述第二侧附接到载体；以及

将所述管芯的所述第二侧附接到所述载体。