[发明专利]一种晶圆用钢环支撑料架装置

说明书

本发明涉及一种晶圆用钢环支撑料架装置，从下往上依次包括钢环料架基板和钢环料架滑板，钢环料架滑板可相对于钢环料架基板沿着X轴方向移动；钢环料架滑板上的中间位置的四周均设置有导向卡槽，导向卡槽内安装有钢环料架限位机构；其中一个外钢环料架限位架或内钢环料架限位架两侧的钢环料架滑板上分别设置有第一钢环限位架和第二钢环限位架。本发明通过第一钢环限位架和第二钢环限位架的结构设置，具有钢环放置的防呆功能；本发明可对8寸钢环和12寸钢环进行自由切换。

技术领域

本发明涉及晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种晶圆用钢环支撑料架装置。

背景技术

在现有技术中在对晶圆进行自动贴膜撕膜的加工设备中，都需要有供应钢环的支撑装置。现有技术中，例如公开号为CN107452660A，专利名称为晶圆载具及其制作方法的专利，目前这种技术在使用过程中不能进行8寸和12寸晶圆的自由切换，在对钢环是否有重叠方面，也没有检测，同时钢环的收放也不方便。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆用钢环支撑料架装置，使其更具有产业上的利用价值。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种晶圆用钢环支撑料架装置。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种晶圆用钢环支撑料架装置，从下往上依次包括钢环料架基板和钢环料架滑板，钢环料架滑板可相对于钢环料架基板沿着X轴方向移动；

钢环料架滑板上的中间位置的四周均设置有导向卡槽，导向卡槽内安装有钢环料架限位机构，钢环料架限位机构从外到内依次包括外钢环料架限位架和内钢环料架限位架，外钢环料架限位架和内钢环料架限位架依次从外到内安装在第一活动底板上，第一活动底板安装在导向卡槽内，外钢环料架限位架靠近内侧的第一活动底板上设置有外钢环垫板，内钢环料架限位架靠近内侧的第一活动底板上设置有内钢环垫板；

其中一个外钢环料架限位架或内钢环料架限位架两侧的钢环料架滑板上分别设置有第一钢环限位架和第二钢环限位架，第一钢环限位架的底部通过支撑底板安装在钢环料架滑板上，第二钢环限位架的底部通过第二活动底板安装在钢环料架滑板上开设的斜槽内。

作为本发明的进一步改进，钢环料架基板上沿着Y轴方向的两侧均设置有滑轨，滑轨沿着X轴方向设置且通过滑轨支撑架固定安装在钢环料架基板上，钢环料架滑板底部沿着Y轴方向的两侧分别通过滑轨导架与滑轨相连接。

作为本发明的进一步改进，钢环料架基板上沿着X轴负方向的一侧设置有用于对钢环料架滑板限位处理的滑板限位挡板，钢环料架基板上沿着X轴正方向的一侧设置有两联放大器，钢环料架滑板上沿着X轴负方向的一侧设置有把手；钢环料架基板上沿着X轴负方向的一侧还设置有旋钮柱塞，钢环料架滑板上沿着X轴负方向的一侧还设置有与旋钮柱塞相适配的柱塞限位块。

作为本发明的进一步改进，第一活动底板的外侧和内侧均设置有第一靠板，导向卡槽内设置有导向槽口，第一活动底板的底部通过位于钢环料架滑板底部的第一导向块与导向槽口相连接。

作为本发明的进一步改进，第二活动底板的外侧和内侧均设置有第二靠板，斜槽内设置有斜槽口，第二活动底板的底部通过位于钢环料架滑板底部的第二导向块与斜槽口相连接，第二活动底板上还设置有调节旋钮，调节旋钮穿过第二活动底板后与位于钢环料架滑板底部的旋钮螺母相连接。

作为本发明的进一步改进，钢环料架基板上靠近X轴正方向的一侧设置有两个传感器立架，两个传感器立架分别位于钢环料架基板上沿着Y轴方向的两侧，传感器立架上沿着Z轴方向安装有若干个第一传感器。

作为本发明的进一步改进，钢环料架滑板下方的钢环料架基板上设置有传感器支架，传感器支架上设置有两个第二传感器，两个第二传感器正上方的钢环料架滑板上分别开设有通孔，两个通孔分别位于外钢环和内钢环的正下方。