[发明专利]利用喷墨打印的电极形成方法以及电极形成装置

说明书

本发明涉及一种利用喷墨打印在对象物体的表面形成电极的方法，其特征在于：作为利用喷墨打印在对象物体的表面形成电极的方法，包括：缓冲区形成步骤，在电极形成位置的外廓形成缓冲区；以及，电极形成步骤，通过向所述缓冲区的内部填充电极油墨而形成电极；所述缓冲区形成步骤以对通过喷墨打印缓冲区油墨而形成的缓冲区层进行层叠的方式执行，所述缓冲区层的表面亲水性低于所述对象物体的表面亲水性。本发明可以通过以较高的高度形成构成电极外廓的缓冲区并向其内部填充电极油墨而形成电极，从而形成截面积变大的电极。

技术领域

本发明涉及一种形成电子元件的电极的方法以及装置，尤其涉及一种利用喷墨打印形成电子元件的电极的方法以及装置。

背景技术

通常来讲，电子元件是指利用电子在固体内移动的传导性的电子部件，在电子元件中形成有用于电流移动的电极。

可以根据多种电子元件的特性形成不同形态的电极，而且伴随着电子元件的小型化以及精密化，电极的大小变得越来越小且形状要求越来越精密。

作为形成小型的精密图案的方法，可以适用喷墨打印技术。根据形状信号以液滴的形态向介质表面喷射液态油墨的喷墨方式不仅用于文档或广告传单的打印，还用于半导体或显示屏领域的溶液工程。尤其是，可以在基板上形成复杂形状的图案或准确地将油墨吐出到特定位置的喷墨打印的适用范围正在变得越来越广。

为了可以在喷墨打印过程中吐出准确量的油墨，在喷墨头中处于吐出准备状态的油墨需要以喷嘴入口为基准借助于毛细管现象维持向内侧凹入的曲面状态即弯液面(meniscus)状态。为此，通常来讲是将油墨储藏部的位置配置在高于喷墨头的位置并在油墨储藏罐的内部生成负压，从而防止油墨从喷墨头滴落并维持弯液面状态。但是，因为油墨的粘度等中存在差异，因此只是单纯地在油墨储藏罐的内部生成负压并不足以达成目的。

具体来讲，将油墨以液滴形态吐出的过程会受到表面张力以及粘度的较大影响。粘度(Viscosity)与油墨流过喷墨头通道流出并从喷嘴基础的难易程度相关，而表面张力(Surface tension)与油墨可以形成何种程度的完美圆形液滴相关，因此对于喷墨打印至关重要。通常来讲，油墨的粘度较低时有利于执行喷墨打印，但是因为粘度较低的油墨具有油墨易于扩散的问题，因此打印结果很容易出现从印刷对象物体的表面的高度较低的厚度较薄的形态(接下来，将从表面到电极上侧部分的高度称之为电极的“厚度”)。而且对于电极来讲，在厚度较薄即截面面积较小时，会导致电极的内部电阻升高的问题。尤其是，对于超精密电子元件的电极来讲，因为其电极的线宽非常窄，因此在电极的高度过低时必然会导致电阻过高的问题，而这也会进一步导致可用于构成电极的物质受限以及制造成本上升的问题。

为此，如图10所示，虽然可以尝试通过在相同的位置上重复执行喷墨打印而提升电极高度，但是只要油墨的特性不发生改变，可以通过重复印刷而提升的高度仍然有限，而且还会因为层叠到上侧的油墨向下流动而导致所形成的电极的线宽大于目标值的不良品问题。

与此相反，还研究出了在维持油墨粘度的同时通过变更打印油墨的对象物体的表面特性而变更油墨的接触角度的技术(大韩民国公开专利第10-2005-0074195号)。但是，根据对象物体的物质特性，在一部分情况下可能无法进行处理，而且还可能会在对象物体的表面处理过程中导致其他部分的损伤，因此其适用及其受限且并不能实现实际应用。

先行技术文献

专利文献

(专利文献1)大韩民国公开专利第10-2005-0074195号

发明内容

本发明旨在解决如上所述的现有技术中存在的问题，其目的在于提供一种可以利用喷墨打印形成高度较高的电极的方法以及装置。