[发明专利]一种用于保护静电吸盘缝隙的氟橡胶极细密封件

权利要求书

1.一种用于保护静电吸盘缝隙的氟橡胶极细密封件，其特征在于，所述氟橡胶极细密封件的制备原料包括：含氟聚合物和无机填料；交联剂；所述含氟聚合物由四氟乙烯、全氟烷基乙基类化合物、全氟烷基乙烯基醚和交联单体共聚而成，所述交联单体为卤代物，所述含氟聚合物购买自索尔维；

所述无机填料和含氟聚合物的重量比为4：20；所述无机填料为白炭黑，所述第一白炭黑和第二白炭黑的重量比为3：1，所述白炭黑包括第一白炭黑和第二白炭黑，第一白炭黑的比表面积大于200m²/g，小于500m^2/g；所述第二白炭黑的比表面积小于200m²/g；

氟橡胶极细密封件的制备方法包括以下步骤：

S1、混炼：含氟聚合物和无机填料在110-130℃下混炼成含氟聚合物组合物；

S2、无飞边模压：将含氟聚合物组合物压制成厚度≤0.15mm的薄片；

S3、一体硫化成型：将含氟聚合物薄片置于模具之上，压模成形，即得；

所述用于保护静电吸盘缝隙的氟橡胶极细密封件应用于密封高度小于0.5mm的静电吸盘缝隙。

2.根据权利要求1所述的一种用于保护静电吸盘缝隙的氟橡胶极细密封件，其特征在于，所述氟橡胶极细密封件的横截面积≤0.2mm²，硬度ShoreA 60-85，断裂伸长率≥140％，拉伸应力≥1.0N，拉伸强度≥10MPa。

3.根据权利要求1所述的一种用于保护静电吸盘缝隙的氟橡胶极细密封件，其特征在于，所述氟橡胶极细密封件的横截面包括但不限于圆形、椭圆形、长方形、正方形。