[发明专利]一种化学机械抛光机用抛光头装置

权利要求书

1.一种化学机械抛光机用抛光头装置，其特征在于，包括固定部和抛光头，所述固定部包括相互固定连接的连接轴和外壳罩，所述外壳罩设有下开口腔，所述下开口腔内设有环状气囊，所述抛光头与所述外壳罩为可拆卸连接，所述抛光头轴向浮动设置于所述下开口腔内，所述抛光头包括抛光头本体和弹性金属贴附板，所述弹性金属贴附板的四周与所述抛光头本体的下表面密封固定连接，所述弹性金属贴附板与所述抛光头本体间构成压力可变腔，所述抛光头本体设有与所述压力可变腔连通的气路通道，所述固定部设有气路接头，所述气路接头通过连接管与所述气路通道连接，所述弹性金属贴附板随所述压力可变腔内压力变化在上凹至下凸状态之间变化，所述环状气囊用于向所述抛光头本体施加下压力。

2.根据权利要求1所述的化学机械抛光机用抛光头装置，其特征在于，所述弹性金属贴附板在上凹或下凸时，所述弹性金属贴附板的上凹或下凸程度由中心向四周递减。

3.根据权利要求1所述的化学机械抛光机用抛光头装置，其特征在于，所述抛光头包括吸附垫和抛光模板，所述抛光模板和所述吸附垫固定设置于所述弹性金属贴附板的下表面，所述抛光模板为环状并围绕所述吸附垫设置。

4.根据权利要求1所述的化学机械抛光机用抛光头装置，其特征在于，所述下开口腔中部设有用于压紧所述环状气囊内圈的限位环，所述抛光头本体的顶部由所述限位环进行径向限位。

5.根据权利要求1所述的化学机械抛光机用抛光头装置，其特征在于，所述抛光头与所述外壳罩间通过销槽结构浮动连接，所述销槽结构包括径向销钉和倒J形槽，所述径向销钉和所述倒J形槽分别设置于所述下开口腔的腔壁和所述抛光头本体的侧壁。

6.根据权利要求1所述的化学机械抛光机用抛光头装置，其特征在于，所述气路通道设有快插接头，所述连接管为螺旋软管。

7.根据权利要求1所述的化学机械抛光机用抛光头装置，其特征在于，所述连接轴伸入所述外壳罩并与所述外壳罩之间形成环形腔，所述环形气囊设置于所述环形腔，所述气路接头设置于所述连接轴的底端。

8.根据权利要求1所述的化学机械抛光机用抛光头装置，其特征在于，所述抛光头本体的底面位于所述压力可变腔区域设有若干同心开设的环形压力分布槽。