[发明专利]一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备装置

权利要求书

1.一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备装置，其特征在于，包括输送管路、循环槽、产品槽、第一高压泵、第三高压泵、CO2管路和连续合成装置，连续合成装置包括并联设置的N个回收罐和背圧阀，背圧阀分别连接着N个回收罐，每个回收罐内均分为上部舱室和下部舱室，上部舱室和下部舱室间设置有可平滑移动的活塞，输送管路上设置有第一加热装置，所述输送管路通过第一高压泵与循环槽连通，所述第一高压泵用于将循环槽内的有机颜料和良溶剂的溶液泵入输送管路，所述第一加热装置用于将有机颜料和良溶剂的溶液升温至有机颜料最大溶解度的亚临界状态，所述输送管路分别连接着N个回收罐内的下部舱室，所述CO2管路分别连接着N个回收罐内的下部舱室，所述CO2管路通过第三高压泵连接着超临界CO2源，所述CO2管路还连接着修饰剂源，所述回收罐内的上部舱室注入有用于控制压力平衡的超纯水，所述产品槽设置于N个回收罐的底部用于接收表面修饰后的有机颜料纳米粒子的分散液。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备装置，其特征在于，所述连续合成装置还包括一个循环罐，背圧阀连接着循环罐，输送管路连接着循环罐内的下部舱室，循环罐内的上部区域填充有超纯水，循环罐底部连接着循环槽。

3.根据权利要求2所述的一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备装置，其特征在于，所述循环罐底部设置有球阀。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备装置，其特征在于，所述背圧阀的入口处设置有过滤器。

5.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备装置，其特征在于，所述第三高压泵和回收罐之间设置有第二加热装置，所述第二加热装置用于确保含有有机颜料的亚临界流体与超临界CO2接触后的混合流体仍处于超临界状态。

6.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备装置，其特征在于，N个回收罐和产品槽之间设置有快速减压装置。

7.根据权利要求2所述的一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备装置，其特征在于，所述输送管路上设置有冷却装置。

8.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的改性有机颜料纳米晶体的制备装置，其特征在于，所述输送管路上位于第一加热装置的出口处连接设置有第二高压泵，所述第二高压泵用于将循环槽内的常温有机颜料在良溶剂中的稳定分散液导入输送管路。